| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·PZT 简介 | 第10-16页 |
| ·压电效应 | 第10-11页 |
| ·PZT 晶体结构 | 第11-12页 |
| ·PZT 力学性能特点 | 第12-14页 |
| ·PZT 的几个重要电学参数 | 第14页 |
| ·PZT 的极化 | 第14-16页 |
| ·PZT 陶瓷增韧的发展现状 | 第16-17页 |
| ·PZT 陶瓷的掺杂 | 第16页 |
| ·含有PZT 陶瓷的复合材料研究 | 第16-17页 |
| ·NiTi SMA 薄膜 | 第17-19页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第17-18页 |
| ·溅射薄膜的晶化 | 第18页 |
| ·NiTi SMA 薄膜与基体之间的界面 | 第18页 |
| ·溅射法制备的NiTi SMA 薄膜性能 | 第18-19页 |
| ·选题的意义 | 第19页 |
| ·本课题研究主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验方法、原理及过程 | 第21-34页 |
| ·NiTi SMA 薄膜制备 | 第21-25页 |
| ·溅射法制备NiTi SMA 薄膜 | 第21-23页 |
| ·溅射工艺参数选择 | 第23-24页 |
| ·实验过程及内容 | 第24-25页 |
| ·NiTi SMA 薄膜晶化处理 | 第25-26页 |
| ·NiTi SMA 薄膜晶化处理方式 | 第25-26页 |
| ·NiTi SMA 两步晶化处理的加热工艺方式 | 第26页 |
| ·NiTi SMA 薄膜组织观察及物相分析 | 第26-27页 |
| ·复合材料力学性能测试 | 第27-29页 |
| ·NiTi SMA/PZT 复合材料的耐压性能研究 | 第27页 |
| ·材料的抗弯强度 | 第27-29页 |
| ·实验设备 | 第29页 |
| ·复合材料电学性能测试 | 第29-34页 |
| ·测试参数及测试原理 | 第29-31页 |
| ·实验设备 | 第31-32页 |
| ·试样制备 | 第32-34页 |
| 第三章 实验结果及讨论 | 第34-61页 |
| ·基体表面预处理对薄膜质量的影响 | 第34-35页 |
| ·溅射工艺参数参数对NiTi SMA 薄膜质量及膜/基结合状态的影响 | 第35-41页 |
| ·基体预热温度对NiTi SMA 薄膜质量及膜/基结合状态的影响 | 第36-38页 |
| ·氩气工作压强对NiTi SMA 成膜质量的影响 | 第38-39页 |
| ·溅射功率对NiTi SMA 成膜质量的影响 | 第39-41页 |
| ·NiTi 薄膜的晶化处理 | 第41-47页 |
| ·不同加热工艺对薄膜晶化处理的影响 | 第42-43页 |
| ·晶化温度对NiTi SMA 薄膜物相组成的影响 | 第43-46页 |
| ·晶化处理保温时间对NiTi SMA 薄膜物相组成的影响 | 第46-47页 |
| ·适宜制备参数下获得的NiTi SMA/PZT 复合材料的组织结构 | 第47-49页 |
| ·NiTi SMA 薄膜的表面形貌 | 第47-48页 |
| ·NiTi SMA/PZT 复合材料的横截面形貌 | 第48-49页 |
| ·NiTi SMA/PZT 复合材料的力学性能 | 第49-55页 |
| ·NiTi SMA/PZT 复合材料的耐压性能 | 第49-50页 |
| ·复合材料抗弯强度测试结果分析 | 第50-55页 |
| ·电学性能测试结果 | 第55-61页 |
| ·压电常数d33测试结果与讨论 | 第55-56页 |
| ·介电损耗tgδ测试结果与讨论 | 第56-58页 |
| ·机电耦合系数Kp 测试结果与讨论 | 第58-61页 |
| 第四章 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
