| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题的研究背景 | 第9页 |
| ·三维金属微结构制造技术的研究现状 | 第9-13页 |
| ·利用LIGA技术制造三维金属微结构 | 第9-11页 |
| ·利用精密机械加工技术制造三维金属微结构 | 第11-13页 |
| ·基于 LIGA技术的微细电火花加工 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 UV-LIGA和微细电火花加工技术基础 | 第15-25页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第15-18页 |
| ·SU-8胶光刻工艺 | 第15-16页 |
| ·微电铸工艺 | 第16-18页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第18-24页 |
| ·微细电火花加工的原理与特点 | 第18-20页 |
| ·微细电极的制备技术 | 第20-23页 |
| ·微细电火花加工的表面粗糙度 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 微细电火花加工表面粗糙度的仿真分析 | 第25-34页 |
| ·建立模型 | 第25-28页 |
| ·热量传递模型 | 第25-26页 |
| ·初始条件与边界条件 | 第26-27页 |
| ·放电通道半径和热源 | 第27-28页 |
| ·有限元仿真 | 第28-32页 |
| ·定义材料属性 | 第29页 |
| ·建模与划分网格 | 第29-30页 |
| ·加载与求解结果 | 第30-32页 |
| ·微细电火花加工表面粗糙度的仿真结果 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 微细电火花加工表面粗糙度的实验研究 | 第34-41页 |
| ·使用独立式脉冲电源的微细电火花加工 | 第34-38页 |
| ·微细电火花加工实验 | 第34-35页 |
| ·微细电火花加工结果分析 | 第35-38页 |
| ·使用 RC式脉冲电源的微细电火花加工 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制造三维金属微结构 | 第41-56页 |
| ·三维金属微结构制造的工艺流程 | 第41-42页 |
| ·准三维金属微结构的制造 | 第42-44页 |
| ·制造胶模微结构 | 第42-43页 |
| ·制造微电铸结构 | 第43-44页 |
| ·三维金属微结构的制造 | 第44-55页 |
| ·对称斜面金属微结构的制造 | 第45-48页 |
| ·锥形凹槽金属微结构的制造 | 第48-51页 |
| ·圆弧形凸台金属微结构的制造 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |