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微电子封装中化学镀Ni-P薄膜研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
1 绪论第11-30页
   ·微电子封装第11-15页
     ·微电子封装的层次第11-12页
     ·微电子封装技术的发展及其应用第12-15页
   ·钎料在微电子封装中的应用第15-16页
   ·微电子封装中的凸焊点及UBM第16-18页
   ·化学镀Ni-P与钎料之间的界面反应第18-21页
     ·化学镀Ni-P与Sn-Ag钎料之间的界面反应第18-20页
     ·化学镀Ni-P镀层P含量对钎焊接头的影响第20-21页
   ·化学镀Ni-P镀层制备与应用第21-29页
     ·化学镀简介第21-22页
     ·化学镀机理的几种假说第22-23页
     ·化学镀Ni-P的工艺第23-26页
     ·化学镀Ni-P在电子工业中的主要应用第26-28页
     ·化学镀Ni-P的发展趋势第28-29页
   ·论文主要工作第29-30页
2 实验药品、设备及实验方法第30-34页
   ·实验药品第30页
   ·实验材料与设备第30-32页
     ·实验材料第30-31页
     ·实验设备第31-32页
   ·溶液配制方法第32-33页
     ·化学镀Ni-P镀液配置方法第32-33页
     ·浸锌液配制方法第33页
   ·金相试样的制备第33-34页
3 化学镀Ni-P前处理工艺第34-49页
   ·浸锌液浓度的选择第35-38页
     ·实验部分第35-36页
     ·实验结果及分析第36-38页
   ·退锌工艺第38-45页
     ·退锌溶液浓度的选择第39-40页
     ·退锌时间的选择第40-42页
     ·盐酸退锌第42-45页
   ·二次浸锌时间的选择第45-47页
   ·一次浸锌、二次浸锌的比较第47-48页
   ·本章小结第48-49页
4 化学镀Ni-P薄膜工艺研究第49-65页
   ·镀液组成及试样前处理第49页
   ·正交试验确定各因素对镀层磷含量及镀速的影响第49-53页
     ·正交试验设计第49-50页
     ·正交试验结果第50-51页
     ·正交试验各因素对镀层磷含量的影响第51-52页
     ·正交试验各因素对镀速的影响第52-53页
   ·镀液pH对镀速和镀层磷含量的影响第53-57页
     ·实验结果第53-55页
     ·分析与讨论第55-57页
   ·主盐、还原剂浓度对镀层P含量和镀速的影响第57-59页
     ·主盐浓度对镀层P含量和镀速的影响第57-58页
     ·还原剂浓度对镀层P含量及镀速的影响第58-59页
   ·镀液稳定性第59-61页
     ·测试方法第60页
     ·结果与讨论第60-61页
   ·镀层性能测试第61-63页
     ·化学镀Ni-P镀层的外观及表面形貌第61-62页
     ·化学镀Ni-P镀层晶体类型分析第62-63页
     ·结合力测试第63页
   ·本章小结第63-65页
5 化学镀Ni-P与Sn-3.5Ag钎料在钎焊和时效过程中的界面反应第65-76页
   ·Sn-3.5Ag/Ni-P/Al的润湿行为第65-66页
     ·两种Ni-P镀层与Sn-3.5Ag的润湿角第65-66页
     ·两种Ni-P镀层与Sn-3.5Ag的铺展系数第66页
   ·Sn-3.5Ag/Ni-P钎焊后典型的IMC形貌和结构第66-68页
   ·钎焊时间对Sn-3.5Ag/Ni-P界面反应的影响第68-70页
   ·时效过程中Sn-3.5Ag/Ni-P界面的显微结构第70-74页
   ·时效过程中Sn-3.5Ag/Ni-P的表面形貌第74-75页
   ·本章小结第75-76页
结论第76-78页
参考文献第78-82页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第82-83页
致谢第83-84页

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