西门子法四氯化硅尾气处理新工艺的探索研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACTS | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·国外多晶硅生产 | 第8-14页 |
| ·国外多晶硅生产技术现状 | 第8-13页 |
| ·国外多晶硅生产状况 | 第13-14页 |
| ·国内多晶硅生产 | 第14-16页 |
| ·国内多晶硅生产现况 | 第14-15页 |
| ·国内外多晶硅生产技术对比 | 第15-16页 |
| ·本论文的研究目的及主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 实验原理与操作 | 第18-22页 |
| ·相关物质的物理化学性质 | 第18-19页 |
| ·四氯化硅 | 第18页 |
| ·金属锌 | 第18页 |
| ·氯化锌 | 第18页 |
| ·硅 | 第18-19页 |
| ·四氯化硅锌还原反应 | 第19页 |
| ·四氯化硅锌还原法研究历史 | 第19-20页 |
| ·试剂与仪器 | 第20页 |
| ·化学用品与试剂 | 第20页 |
| ·实验仪器与设备 | 第20页 |
| ·实验方法及装置图 | 第20-21页 |
| ·原料锌的精馏熔锭 | 第20页 |
| ·四氯化硅锌还原反应制备硅 | 第20-21页 |
| ·实验表征 | 第21-22页 |
| ·硅产物形貌 | 第21页 |
| ·料舟内硅产物收率的计算 | 第21-22页 |
| 第三章 工艺条件实验结果与讨论 | 第22-59页 |
| ·工艺条件对硅产物宏观形貌的影响 | 第22-43页 |
| ·反应温度 | 第22-34页 |
| ·恒温反应时间 | 第34-39页 |
| ·氮气流量 | 第39-43页 |
| ·小结 | 第43页 |
| ·工艺条件对产物收率的影响 | 第43-51页 |
| ·反应温度 | 第43-46页 |
| ·恒温反应时间 | 第46-48页 |
| ·氮气流量 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| ·硅产物形貌 | 第51-59页 |
| ·宏观形貌 | 第51-53页 |
| ·硅产物XRD衍射分析 | 第53页 |
| ·硅产物SEM形貌 | 第53-59页 |
| 第四章 结论 | 第59-61页 |
| ·实验结论 | 第59-60页 |
| ·本工艺的优缺点 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第65页 |
