一种结合温差式和风速计式的新结构MEMS热式流量计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·MEMS概述 | 第7-8页 |
| ·流量计 | 第8页 |
| ·热式流量计 | 第8-9页 |
| ·MEMS热式流量计发展 | 第9-11页 |
| ·本文内容 | 第11-13页 |
| 第二章 热式流量计原理 | 第13-21页 |
| ·热传输 | 第13-14页 |
| ·流体动力学边界层 | 第14-17页 |
| ·热边界层 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 有限元仿真及优化 | 第21-37页 |
| ·ANSYS简介 | 第21-23页 |
| ·几何建模 | 第23-25页 |
| ·几何模型的建立 | 第23-24页 |
| ·单元划分 | 第24页 |
| ·模型约束载荷的施加 | 第24-25页 |
| ·仿真结果 | 第25-28页 |
| ·改变几何尺寸的仿真与优化 | 第28-36页 |
| ·热源宽度W | 第28-31页 |
| ·跨度W | 第31-34页 |
| ·深度H | 第34-35页 |
| ·优化结果 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 Matlab热源控制电路时域仿真 | 第37-48页 |
| ·Matlab/Simulink建模 | 第38-40页 |
| ·仿真结果 | 第40-47页 |
| ·RC常数对电路响应的影响 | 第41-44页 |
| ·热源电阻热质量对电路响应的影响 | 第44页 |
| ·R2/R3电桥电阻比 | 第44-45页 |
| ·TCR不匹配的影响及解决方法 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 流量计实验电路 | 第48-55页 |
| ·主热源 | 第48-49页 |
| ·辅助热源 | 第49-50页 |
| ·稳压源和电桥电压源 | 第50-52页 |
| ·电桥接入方式切换 | 第52-53页 |
| ·一级放大读出电路 | 第53页 |
| ·PCB实物 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 MEMS热式流量计制作工艺 | 第55-65页 |
| ·工艺流程 | 第55-58页 |
| ·关键工艺问题 | 第58-64页 |
| ·Ti/Pt金属层Lift-off | 第58-62页 |
| ·PECVD淀积损害 | 第62-63页 |
| ·背腐 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第七章 测试结果和讨论 | 第65-69页 |
| ·电阻TCR测量 | 第65-66页 |
| ·流量测量 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第八章 全文总结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
