激光作用下硅材料的热应力分析
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第一章 绪论 | 第8-13页 |
·引言 | 第8页 |
·国内外研究现状 | 第8-10页 |
·研究目的和意义 | 第10-11页 |
·论文的主要工作 | 第11-12页 |
·本章小结 | 第12-13页 |
第二章 有限元方法与ANSYS软件简介 | 第13-20页 |
·有限元分析法简介 | 第13-16页 |
·ANSYS软件与APDL语言简介 | 第16-19页 |
·本章小结 | 第19-20页 |
第三章 理论分析与相关原理的有限元描述 | 第20-30页 |
·相关热学基本原理的有限元描述 | 第20-25页 |
·温度场与应力场的理论分析 | 第25-29页 |
·本章小结 | 第29-30页 |
第四章 硅材料的热应力数值模型的建立 | 第30-40页 |
·单晶硅的结构及其性质 | 第30-31页 |
·硅材料各项参数的确定 | 第31-35页 |
·ANSYS软件的设置 | 第35-36页 |
·模型的建立 | 第36-38页 |
·ANSYS程序流程图 | 第38-39页 |
·本章小结 | 第39-40页 |
第五章 硅材料的温升与热应力分析 | 第40-48页 |
·二维温升与热应力分析 | 第40-43页 |
·三维温升与热应力分析 | 第43-44页 |
·不同因素变化对研究结果的影响 | 第44-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
第六章 结论与展望 | 第48-51页 |
·对温度场的总结 | 第48页 |
·对应力场的总结 | 第48-49页 |
·总结与展望 | 第49-51页 |
参考文献 | 第51-55页 |
致谢 | 第55页 |