基于衍射光栅计量的宏微定位系统的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-15页 |
| ·研究目的和意义 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·本课题研究内容 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 宏微定位系统的开发 | 第15-19页 |
| ·宏微定位工作台结构 | 第16页 |
| ·控制原理 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 基于衍射光栅的测量系统 | 第19-35页 |
| ·衍射光栅测量原理 | 第19-22页 |
| ·双衍射光栅的测量原理 | 第19-21页 |
| ·光栅干涉条纹的接收 | 第21-22页 |
| ·光栅信号交流调制 | 第22-24页 |
| ·基于FPGA中转系统的光栅计数值的获取 | 第24-27页 |
| ·光栅硬件计数逻辑 | 第24-25页 |
| ·PC机读取光栅计数值的方法 | 第25-27页 |
| ·基于软件细分与补偿的光栅测量精度的提高 | 第27-31页 |
| ·计数值与细分值不同步的软件补偿方法 | 第28-29页 |
| ·软件细分方法 | 第29-31页 |
| ·消去光栅信号直流漂移的PWM方法 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 宏定位系统的实验分析与算法设计 | 第35-49页 |
| ·宏定位驱动系统分析 | 第35-36页 |
| ·宏动台工作原理与控制方法 | 第35页 |
| ·宏驱动系统的传动设计 | 第35-36页 |
| ·FPGA电机控制系统与PC机通信协议 | 第36-37页 |
| ·在PC机与FPGA通讯中提高可靠性的方法 | 第37-39页 |
| ·电机驱动实验统计分析 | 第39-41页 |
| ·伺服电机单次驱动稳定性分析 | 第41-45页 |
| ·在不同行程条件下伺服电机驱动系统的实验分析 | 第41-44页 |
| ·在不同速度条件下伺服电机驱动系统的实验分析 | 第44页 |
| ·改善伺服电机驱动系统稳定性的方法 | 第44-45页 |
| ·宏定位算法设计和实验结果分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 基于压电陶瓷的微定位系统研究 | 第49-63页 |
| ·微动台的结构与静力学分析 | 第49-51页 |
| ·微动台的振动测试及验证 | 第51-52页 |
| ·压电陶瓷高压驱动电路 | 第52-54页 |
| ·微定位系统的动态特性和稳定性分析 | 第54-56页 |
| ·微定位算法设计与实验结果分析 | 第56-59页 |
| ·基于最大斜率法的微定位算法设计 | 第56-58页 |
| ·微定位实验分析 | 第58-59页 |
| ·宏微定位实验 | 第59-61页 |
| ·定位方法 | 第60-61页 |
| ·实验结果 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第63-65页 |
| ·全文总结 | 第63页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第70-71页 |
| 附录2 课题实物图照片 | 第71-73页 |
| 附录3 本课题部分电路原理图 | 第73-75页 |
| 附录4 本课题部分程序清单 | 第75-85页 |
