面向未来移动通讯系统的高性能层状结构声表面波器件研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 声表面波滤波器的发展概况与研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2 声表面器件性能提升研究的现状与存在的问题 | 第12-17页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 掺钪氮化铝薄膜的制备和表征 | 第19-48页 |
| 2.1 掺钪氮化铝薄膜的综述 | 第19-23页 |
| 2.1.1 掺钪氮化铝薄膜的结构与性质 | 第19-22页 |
| 2.1.2 掺钪氮化铝薄膜在声波器件中的应用 | 第22-23页 |
| 2.2 掺钪氮化铝薄膜的制备技术 | 第23-28页 |
| 2.2.1 制备技术 | 第23-27页 |
| 2.2.2 反应式射频磁控溅射与表征的设备 | 第27-28页 |
| 2.3 掺钪氮化铝薄膜的制备 | 第28-39页 |
| 2.3.1 制备工艺研究 | 第28-29页 |
| 2.3.2 靶材预处理 | 第29页 |
| 2.3.3 靶材对薄膜特性的影响 | 第29-35页 |
| 2.3.4 氮氩比对薄膜特性的影响 | 第35-39页 |
| 2.4 基于声波器件的掺钪氮化铝材料参数的验证 | 第39-47页 |
| 2.4.1 材料参数的确定 | 第39-41页 |
| 2.4.2 器件结构设置 | 第41页 |
| 2.4.3 钪浓度对体声波特性的影响 | 第41-43页 |
| 2.4.4 材料参数的实验验证 | 第43-47页 |
| 2.5 小结 | 第47-48页 |
| 第三章 基于掺钪氮化铝薄膜的层状SAW器件的仿真 | 第48-69页 |
| 3.1 层状SAW器件的特性分析方法 | 第48-58页 |
| 3.1.1 一维仿真模型 | 第48-49页 |
| 3.1.2 有限元仿真模型 | 第49-58页 |
| 3.2 质量加载特性研究 | 第58-68页 |
| 3.2.1 压电薄膜厚度对表面波特性的影响 | 第58-61页 |
| 3.2.2 电极质量加载的影响 | 第61-64页 |
| 3.2.3 二氧化硅覆层质量加载的影响 | 第64-67页 |
| 3.2.4 电极质量加载的实验验证 | 第67-68页 |
| 3.3 小结 | 第68-69页 |
| 第四章 适用于层状结构声表面波器件的耦合模模型 | 第69-82页 |
| 4.1 耦合模模型 | 第69-75页 |
| 4.1.1 经典耦合模模型 | 第69-72页 |
| 4.1.2 包含界面波反射项的耦合模模型 | 第72-75页 |
| 4.2 基于PDE模块的模型实现 | 第75-79页 |
| 4.2.1 COMSOL偏微分方程模块简介 | 第75-76页 |
| 4.2.2 模型设置 | 第76-79页 |
| 4.3 实验验证 | 第79-80页 |
| 4.4 小结 | 第80-82页 |
| 第五章 描述SAW纵向和横向传播耦合的简化模型 | 第82-111页 |
| 5.1 简化模型 | 第82-85页 |
| 5.1.1 声表面波的激励和传递 | 第82-84页 |
| 5.1.2 电荷的检测 | 第84-85页 |
| 5.2 参数推导 | 第85-95页 |
| 5.2.1 简化模型与耦合模模型的等价性 | 第85-89页 |
| 5.2.2 参数推导实例 | 第89-95页 |
| 5.3 各向异性因子提取 | 第95-101页 |
| 5.3.1 声表面波在周期栅格中的二维传递 | 第95-98页 |
| 5.3.2 纵向谐振条件 | 第98-99页 |
| 5.3.3 参数提取 | 第99-101页 |
| 5.4 基于COMSOL的模型求解 | 第101-109页 |
| 5.4.1 体压电材料二维简化模型 | 第101-102页 |
| 5.4.2 结果分析 | 第102-105页 |
| 5.4.3 用于层状结构分析的简化模型 | 第105-109页 |
| 5.5 小结 | 第109-111页 |
| 第六章 总结与展望 | 第111-113页 |
| 6.1 总结 | 第111-112页 |
| 6.2 展望 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第124-128页 |
