| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 前言 | 第8-24页 |
| 1.1 TaN材料的结构 | 第8-9页 |
| 1.2 TaN材料的性质 | 第9-16页 |
| 1.2.1 TaN的高温热稳定性 | 第9-10页 |
| 1.2.2 TaN的高硬度 | 第10-11页 |
| 1.2.3 TaN的电输运性质 | 第11-14页 |
| 1.2.4 TaN的超导特性 | 第14-16页 |
| 1.3 TaN材料的应用 | 第16-18页 |
| 1.4 颗粒膜的电输运性质 | 第18-21页 |
| 1.4.1 热涨落诱导的隧穿导电 | 第18页 |
| 1.4.2 金属性颗粒系统内的电子-电子相互作用 | 第18-20页 |
| 1.4.3 超导颗粒膜的临界磁场的理论解释 | 第20-21页 |
| 1.5 本论文的主要工作 | 第21-24页 |
| 第2章 样品的制备与表征 | 第24-36页 |
| 2.1 Ta-N材料的制备 | 第24-26页 |
| 2.1.1 ε-TaN块体材料的制备 | 第24页 |
| 2.1.2 TaN_x薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.2 样品的表征方法 | 第26-32页 |
| 2.2.1 台阶仪 | 第26-27页 |
| 2.2.2 透射电子显微镜 | 第27-28页 |
| 2.2.3 X射线能谱 | 第28-29页 |
| 2.2.4 X射线衍射 | 第29-30页 |
| 2.2.5 扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| 2.2.6 原子力显微镜 | 第31-32页 |
| 2.3 电学性质的表征 | 第32-34页 |
| 2.3.1 物理性质测量系统 | 第32-33页 |
| 2.3.2 四点法测量样品电阻 | 第33-34页 |
| 2.4 磁性测量系统 | 第34-36页 |
| 第3章 ε-TaN块体的电输运性质 | 第36-44页 |
| 3.1 ε-TaN的晶体结构和表面形貌 | 第36-39页 |
| 3.1.1 ε-TaN的晶体结构 | 第37-38页 |
| 3.1.2 ε-TaN的表面形貌 | 第38-39页 |
| 3.2 ε-TaN的电输运特性 | 第39-41页 |
| 3.3 ε-TaN的磁性 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 岩盐结构TaN_x薄膜的电输运性质 | 第44-62页 |
| 4.1 石英玻璃基底上制备的TaN_x薄膜电输运性质研究 | 第44-56页 |
| 4.1.1 TaN_x薄膜的制备方法和晶体结构 | 第45-48页 |
| 4.1.2 TaN_x薄膜的电输运性质 | 第48-53页 |
| 4.1.3 TaN_x薄膜的超导特性 | 第53-56页 |
| 4.2 Al_2O_3(001)单晶基底上制备的TaN_x薄膜电输运性质研究 | 第56-60页 |
| 4.2.1 基底温度对TaN_x薄膜晶格结构的影响 | 第56-57页 |
| 4.2.2 基底温度对TaN_x薄膜表面形貌的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.3 基底温度对TaN_x薄膜粗糙度的影响 | 第58-59页 |
| 4.2.4 基底温度对TaN_x薄膜电输运性质的影响 | 第59-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
