光学膜厚宽带监控关键技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·研究背景和意义 | 第11-12页 |
| ·研究现状及前人研究成果 | 第12-13页 |
| ·国外研究现状及前人研究成果 | 第12页 |
| ·国内研究现状及前人研究成果 | 第12-13页 |
| ·研究工作的主要内容及创新点 | 第13-15页 |
| 第二章 光学薄膜技术简述 | 第15-37页 |
| ·光学薄膜设计技术简述 | 第15-18页 |
| ·光学薄膜制备技术简述 | 第18-22页 |
| ·化学气相沉积 | 第18页 |
| ·物理气相沉积法 | 第18-21页 |
| ·离子辅助镀膜技术 | 第21-22页 |
| ·光学膜厚监控技术简述 | 第22-36页 |
| ·主要监控方法简述 | 第23-30页 |
| ·任意厚度膜系监控方法简述 | 第30-33页 |
| ·膜厚宽带监控技术 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 系统光谱分辨率分析与谱线校准技术 | 第37-60页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·基于阵列探测器的光栅光谱仪简述 | 第38-41页 |
| ·阵列探测器像元尺寸对采样信号的影响 | 第38-40页 |
| ·基于CCD的多通道光谱仪的基本结构 | 第40-41页 |
| ·入射狭缝最佳尺度确定 | 第41-46页 |
| ·基于CCD的光栅光谱仪理论分辨率计算 | 第41-44页 |
| ·狭缝最佳宽度的实验确定 | 第44-46页 |
| ·CCD像元与光谱波长对应关系标定 | 第46-59页 |
| ·波长与像元序数的非线性关系 | 第46-47页 |
| ·CCD光谱测量中的波长定标 | 第47-52页 |
| ·测试实验 | 第52-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 背景噪声抑制与实现技术 | 第60-76页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·背景光强的抑制方法简述 | 第60-63页 |
| ·背景光强抑制方法简述 | 第60-62页 |
| ·背景光强抑制的同步累计法 | 第62页 |
| ·宽带膜厚监控信号的提取方法 | 第62-63页 |
| ·膜厚宽带监控系统构成简述 | 第63-67页 |
| ·抑制背景光强影响的实现技术 | 第67-70页 |
| ·步进电机的控制原理及处理流程 | 第68-69页 |
| ·采集部分数据的提取与分类 | 第69-70页 |
| ·采集控制软件流程 | 第70页 |
| ·实验结果与分析 | 第70-74页 |
| ·光源的稳定性测试 | 第70-72页 |
| ·背景噪声剔除效果测试 | 第72-73页 |
| ·器件动态范围测试 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第五章 噪声的数字信号处理技术 | 第76-97页 |
| ·引言 | 第76-77页 |
| ·随机信号的各种去噪方法简述 | 第77-85页 |
| ·Savitzky-Golay法去噪 | 第77-78页 |
| ·Boxcar法去噪 | 第78页 |
| ·FFT法去噪 | 第78-81页 |
| ·小波阈值法去噪 | 第81-85页 |
| ·各去噪方法的实际效果比较 | 第85-90页 |
| ·Savitzky-Golay法去噪效果 | 第86页 |
| ·boxcar法去噪效果 | 第86-87页 |
| ·FFT法去噪效果 | 第87-89页 |
| ·小波滤波法去噪效果 | 第89-90页 |
| ·小波阈值去噪优化算法 | 第90-96页 |
| ·自适应阈值算法优化的原理 | 第91-92页 |
| ·阈值确定 | 第92-93页 |
| ·线阵CCD薄膜宽带监控系统实测结果 | 第93-96页 |
| ·实验结果分析 | 第96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第六章 基于设计制造一体化的评价函数的修正技术 | 第97-119页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·膜料吸收引起偏差的理论计算 | 第97-101页 |
| ·吸收偏差 | 第98-99页 |
| ·吸收介质膜层光学特性计算 | 第99-101页 |
| ·吸收偏差的逐层补偿方法 | 第101-107页 |
| ·逐层补偿方法 | 第101-103页 |
| ·逐层补偿的实现 | 第103-107页 |
| ·薄膜参数的光谱拟合法 | 第107-108页 |
| ·三种拟合方法的对比实验 | 第108-116页 |
| ·最小二乘拟合结果 | 第111页 |
| ·单纯形法拟合 | 第111-112页 |
| ·模拟退火法拟合 | 第112-114页 |
| ·三种拟合方法比较结果 | 第114-116页 |
| ·薄膜制备实验及结果分析 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 第七章 结论 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 参考文献 | 第122-127页 |
| 攻读博士期间科研与发表论文情况 | 第127-128页 |
