| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 精密测量技术简介 | 第10-12页 |
| 1.2 计量光栅 | 第12-13页 |
| 1.3 二维光栅国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文的主要工作内容 | 第15-17页 |
| 第二章 基于二维光栅的测量系统原理 | 第17-23页 |
| 2.1 莫尔条纹 | 第17-20页 |
| 2.1.1 几何莫尔技术原理 | 第17-19页 |
| 2.1.2 莫尔干涉术原理 | 第19-20页 |
| 2.2 二维光栅测量系统的原理 | 第20-22页 |
| 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 二维光栅的设计 | 第23-44页 |
| 3.1 二维光栅的衍射理论 | 第23-29页 |
| 3.1.1 标量衍射理论 | 第23-24页 |
| 3.1.2 矢量衍射理论 | 第24-25页 |
| 3.1.3 基于严格耦合波理论的二维光栅衍射特性分析 | 第25-29页 |
| 3.2 二维光栅的基本使用条件 | 第29-31页 |
| 3.3 二维光栅的结构模型 | 第31-34页 |
| 3.4 二维光栅的设计目标 | 第34页 |
| 3.5 二维光栅的衍射效率 | 第34-43页 |
| 3.5.1 铝作为表面反射层材料 | 第35-36页 |
| 3.5.2 金作为表面反射层材料 | 第36-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 二维光栅的制作与误差分析 | 第44-63页 |
| 4.1 衍射光栅制备方法简介 | 第44-48页 |
| 4.2 基于全息技术的二维镀金光栅的制作 | 第48-53页 |
| 4.3 二维光栅掩模、刻蚀、镀膜槽型结果 | 第53-57页 |
| 4.4 二维光栅衍射效率测试和误差分析 | 第57-60页 |
| 4.5 二维光栅梯台模型的优化设计 | 第60-62页 |
| 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 本论文工作总结 | 第63-64页 |
| 5.2 工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70页 |
| 本论文的研究工作得到以下基金的资助 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |