| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 有序微纳结构的制备技术 | 第10-13页 |
| 1.2.1 光刻技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 电子束刻蚀技术 | 第11-12页 |
| 1.2.3 纳米压印技术 | 第12-13页 |
| 1.3 纳米压痕技术 | 第13-19页 |
| 1.3.1 纳米压痕技术的起源 | 第13-14页 |
| 1.3.2 纳米压痕技术测量原理和应用 | 第14-16页 |
| 1.3.3 基于纳米压痕的加工技术 | 第16-19页 |
| 1.4 有序微纳结构的应用 | 第19-22页 |
| 1.4.1 基于有序微纳结构的表面增强拉曼基底 | 第19-20页 |
| 1.4.2 基于有序微纳结构的超疏水表面 | 第20-21页 |
| 1.4.3 基于有序微纳结构的生物传感 | 第21-22页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 微探针力伺服加工模块的研制 | 第24-42页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 微探针力伺服加工模块的原理 | 第24-26页 |
| 2.3 微探针力伺服加工模块机械设计 | 第26-33页 |
| 2.3.1 柔性铰链机构设计 | 第26-31页 |
| 2.3.2 微探针力伺服加工模块的机械结构 | 第31-33页 |
| 2.4 三维微纳加工平台及其控制系统 | 第33-36页 |
| 2.4.1 三维微纳加工平台 | 第33-34页 |
| 2.4.2 三维微纳加工平台的控制系统 | 第34-36页 |
| 2.5 微探针力伺服加工模块的测试 | 第36-41页 |
| 2.5.1 柔性铰链机构中心法向刚度的标定 | 第36-38页 |
| 2.5.2 不同载荷的单点压痕加工实验 | 第38-41页 |
| 2.5.3 不同角度的单点压痕加工实验 | 第41页 |
| 2.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 基于纳米压痕的微纳结构加工机理仿真研究 | 第42-71页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 有限元仿真模型的建立 | 第42-46页 |
| 3.2.1 几何模型和材料属性 | 第42-44页 |
| 3.2.2 边界条件和载荷 | 第44-45页 |
| 3.2.3 网格划分和单元类型 | 第45-46页 |
| 3.3 单点压痕的有限元仿真 | 第46-53页 |
| 3.3.1 不同探针的单点压痕 | 第46-49页 |
| 3.3.2 有限元仿真模型的验证 | 第49-53页 |
| 3.4 多点压痕的有限元仿真 | 第53-69页 |
| 3.4.1 两点压痕的有限元仿真 | 第53-61页 |
| 3.4.2 单列压痕的有限元仿真 | 第61-65页 |
| 3.4.3 压痕阵列的有限元仿真 | 第65-69页 |
| 3.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第四章 基于纳米压痕的有序微纳结构制备及拉曼增强性能研究 | 第71-92页 |
| 4.1 引言 | 第71页 |
| 4.2 基于Vickers压痕的有序微纳结构的制备研究 | 第71-78页 |
| 4.2.1 Vickers单列压痕 | 第71-74页 |
| 4.2.2 Vickers压痕阵列 | 第74-78页 |
| 4.3 基于Berkovich压痕的有序微纳结构的制备研究 | 第78-82页 |
| 4.3.1 Berkovich单列压痕 | 第78-79页 |
| 4.3.2 Berkovich压痕阵列 | 第79-82页 |
| 4.4 基于Conical压痕的有序微纳结构的制备研究 | 第82-86页 |
| 4.4.1 Conical单列压痕 | 第82-84页 |
| 4.4.2 Conical压痕阵列 | 第84-86页 |
| 4.5 基于纳米压痕的Au-Al有序微纳结构的SERS性能 | 第86-91页 |
| 4.5.1 Au-Al有序微纳结构基底的制备 | 第86-88页 |
| 4.5.2 拉曼检测实验的结果 | 第88-91页 |
| 4.6 本章小结 | 第91-92页 |
| 结论 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-99页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101页 |
