基于机器视觉的摄像头模组缺陷检测系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第11-14页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第14-17页 |
| 1.3 本课题研究主要内容及章节安排 | 第17-19页 |
| 第二章 模组检测系统总体方案设计 | 第19-37页 |
| 2.1 模组外型构造及缺陷 | 第19-20页 |
| 2.2 模组检测机的工作原理概述 | 第20-22页 |
| 2.3 视觉系统设计 | 第22-32页 |
| 2.3.1 工业相机选型 | 第22-23页 |
| 2.3.2 工业镜头选型 | 第23-25页 |
| 2.3.3 工业光源及光源控制器的选型 | 第25-28页 |
| 2.3.4 视觉系统总体架构及可行性 | 第28-31页 |
| 2.3.5 视觉系统检测流程 | 第31-32页 |
| 2.4 运动控制系统设计 | 第32-34页 |
| 2.4.1 运动控制器选型 | 第32-33页 |
| 2.4.2 电机及伺服驱动器的选型 | 第33-34页 |
| 2.5 机械结构设计 | 第34-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 晶圆及外围金线的定位与校正 | 第37-49页 |
| 3.1 外围金线与晶圆区特性分析 | 第37-38页 |
| 3.2 检测图像的定位 | 第38-45页 |
| 3.2.1 基于像素灰度的匹配 | 第39-40页 |
| 3.2.2 基于图像特征的匹配 | 第40-41页 |
| 3.2.3 匹配算法的实验分析 | 第41-45页 |
| 3.3 区域角点旋转校正 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 缺陷检测相关算法研究 | 第49-67页 |
| 4.1 晶圆区阈值分割算法研究 | 第49-55页 |
| 4.1.1 峰谷法 | 第49-50页 |
| 4.1.2 迭代阈值法 | 第50页 |
| 4.1.3 最大方差阈值法 | 第50-51页 |
| 4.1.4 改进后的自适应阈值法 | 第51-52页 |
| 4.1.5 晶圆区Particle阈值分割比较 | 第52-55页 |
| 4.2 外围金线阈值处理分析 | 第55-57页 |
| 4.3 Blob分析 | 第57-61页 |
| 4.3.1 形态学处理 | 第57-59页 |
| 4.3.2 连通性标记分析 | 第59-61页 |
| 4.4 实验测试及分析 | 第61-66页 |
| 4.4.1 Particle检测精度测试 | 第61-64页 |
| 4.4.2 外围金线检测精度测试 | 第64-65页 |
| 4.4.3 检测算法耗时性测试 | 第65-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 系统实现及软件设计 | 第67-83页 |
| 5.1 系统逻辑设计 | 第67-70页 |
| 5.2 软件功能模块 | 第70-74页 |
| 5.2.1 图像采集模块 | 第70-72页 |
| 5.2.2 运动控制模块 | 第72页 |
| 5.2.3 图像算法模块 | 第72-73页 |
| 5.2.4 数据库管理模块 | 第73-74页 |
| 5.3 系统人机界面设计 | 第74-79页 |
| 5.3.1 运动控制界面 | 第75-77页 |
| 5.3.2 影像参数界面 | 第77页 |
| 5.3.3 系统参数界面 | 第77-78页 |
| 5.3.4 用户权限界面 | 第78-79页 |
| 5.4 系统实验及分析 | 第79-82页 |
| 5.4.1 系统耗时性测试 | 第79-80页 |
| 5.4.2 系统稳定性测试 | 第80-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 总结及展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 附件 | 第91页 |
