提要 | 第1-8页 |
第一章 前言 | 第8-12页 |
·论文的研究背景 | 第8-9页 |
·本论文的研究意义和主要内容 | 第9-12页 |
第二章 TiO_2薄膜的制备与表征 | 第12-37页 |
·TiO_2的晶体结构 | 第12-16页 |
·锐钛矿(Anatase) | 第14-16页 |
·金红石(Rutile) | 第16页 |
·板钛矿(Brookite) | 第16页 |
·纳米TiO_2的用途 | 第16-18页 |
·紫外吸收特性 | 第17页 |
·光催化特性 | 第17页 |
·气敏湿敏特性 | 第17-18页 |
·光电特性 | 第18页 |
·纳米TiO_2的制备方法 | 第18-24页 |
·液相沉积法 | 第19页 |
·溶胶-凝胶法 | 第19-20页 |
·化学气相沉积法 | 第20-21页 |
·水热法 | 第21页 |
·自组装法 | 第21-24页 |
·TiO_2薄膜的制备 | 第24-32页 |
·化学药品 | 第24-25页 |
·仪器设备 | 第25页 |
·TiO_2薄膜的制备原理 | 第25-27页 |
·TiO_2薄膜的制备过程 | 第27-32页 |
·TiO_2薄膜的表征 | 第32-37页 |
·X-射线衍射分析(XRD) | 第32-33页 |
·紫外-可见光谱分析(UV-vis) | 第33-34页 |
·扫描电镜分析(SEM) | 第34-35页 |
·X射线光电子能谱(XPS) | 第35-37页 |
第三章 基于自组装法生长的TiO_2薄膜在紫外探测中的应用 | 第37-51页 |
·TiO_2应用于紫外探测的优势 | 第37页 |
·半导体紫外探测器结构的基本类型 | 第37-38页 |
·MSM型光伏探测器的结构和工作原理 | 第38-42页 |
·器件结构 | 第39页 |
·器件的工作原理 | 第39-42页 |
·基于自组装生长TiO_2薄膜的紫外探测器的制作 | 第42-46页 |
·薄膜生长 | 第44页 |
·光刻电极图形 | 第44-45页 |
·溅射电极 | 第45页 |
·剥离 | 第45-46页 |
·基于自组装生长TiO_2薄膜的紫外探测器的性能测试 | 第46-51页 |
·器件的I-V特性 | 第46-48页 |
·器件的光响应 | 第48-49页 |
·器件的响应时间 | 第49-51页 |
第四章 结论 | 第51-54页 |
参考文献 | 第54-57页 |
致谢 | 第57-58页 |
摘要 | 第58-60页 |
Abstract | 第60-61页 |