| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 光刻技术 | 第8-9页 |
| 1.2 软印刷技术 | 第9-13页 |
| 1.2.1 微接触印刷 | 第9-11页 |
| 1.2.2 贴花转移印刷技术 | 第11-13页 |
| 1.3 压印技术 | 第13-14页 |
| 1.4 表面起皱 | 第14-16页 |
| 1.4.1 溶剂诱导法 | 第14-15页 |
| 1.4.2 加热诱导法 | 第15页 |
| 1.4.3 机械拉伸法 | 第15-16页 |
| 1.5 研究思路和创新之处 | 第16-18页 |
| 第二章 实验原料及实验设备 | 第18-21页 |
| 2.1 实验原料 | 第18页 |
| 2.1.1 PDMS的性质 | 第18页 |
| 2.2 实验仪器 | 第18-19页 |
| 2.3 表征手段 | 第19-21页 |
| 2.3.1 倒置荧光显微镜（IFM） | 第19页 |
| 2.3.2 扫描电镜（SEM） | 第19-20页 |
| 2.3.3 原子力显微镜（AFM） | 第20-21页 |
| 第三章 PDMS皱纹模板的制备以及图案转移 | 第21-32页 |
| 3.1 PDMS弹性体的制备 | 第21页 |
| 3.2 PDMS皱纹模板的制备 | 第21-22页 |
| 3.3 基于PDMS皱纹模板的图案转移 | 第22-23页 |
| 3.4 实验结果与讨论 | 第23-31页 |
| 3.4.1 OP/UVO加固对PDMS皱纹模板的影响 | 第23-25页 |
| 3.4.2 NaOH的浓度对PDMS皱纹模板的影响 | 第25页 |
| 3.4.3 浸泡时间对PDMS皱纹模板的影响 | 第25-27页 |
| 3.4.4 NaOH浓度对基底转移形貌的影响 | 第27-28页 |
| 3.4.5 加热温度对皱纹模板转移的影响 | 第28-29页 |
| 3.4.6 揭开模板的方向对图案转移的影响 | 第29-30页 |
| 3.4.7 不同处理方法对PDMS皱纹模板转移的影响 | 第30-31页 |
| 3.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 PDMS皱纹模板在不同基底上的图案转移 | 第32-50页 |
| 4.1 PDMS皱纹模板在不同基底上的图案转移 | 第32页 |
| 4.2 实验结果与讨论 | 第32-42页 |
| 4.2.1 未加固的PDMS皱纹模板在Si基底上的图案转移 | 第32-33页 |
| 4.2.2 OP加固PDMS皱纹模板在Si基底上的图案转移 | 第33-34页 |
| 4.2.3 未加固皱纹模板在PDMS基底上的图案转移 | 第34-37页 |
| 4.2.4 UVO加固皱纹模板在PDMS基底上的图案转移 | 第37-40页 |
| 4.2.5 OP加固PDMS皱纹模板在PDMS基底上的图案转移 | 第40-42页 |
| 4.3 基底硬度改变对转移微图案形貌的影响 | 第42-48页 |
| 4.3.1 UVO处理PDMS基底时间对基底上转移微图案的影响 | 第42-45页 |
| 4.3.2 OP处理PDMS基底时间对转移形貌的影响 | 第45页 |
| 4.3.3 PDMS基底模量的改变对转移形貌的影响 | 第45-46页 |
| 4.3.4 PDMS基底浸泡对转移形貌的影响 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 PDMS基底上转移形成复合微图案 | 第50-61页 |
| 5.1 基于CD模板的转移 | 第50页 |
| 5.2 基于CD模板和皱纹模板的双向转移 | 第50-51页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第51-56页 |
| 5.3.1 基于CD模板的图案转移 | 第51页 |
| 5.3.2 基于CD与CD模板的双向转移 | 第51-53页 |
| 5.3.3 未加固的PDMS皱纹模板的双向转移 | 第53页 |
| 5.3.4 加固皱纹模板的二次转移 | 第53-54页 |
| 5.3.5 调控第二次转移图案的高度 | 第54-56页 |
| 5.4 基于CD与PDMS皱纹模板转移的复合形貌 | 第56-58页 |
| 5.4.1 CD-皱纹模板 | 第56-57页 |
| 5.4.2 皱纹模板-CD | 第57-58页 |
| 5.5PDMS皱纹模板在拉伸PDMS基底上的转移 | 第58-60页 |
| 5.5.1 OP曝光时间以及拉伸率对形貌的影响 | 第58页 |
| 5.5.2 UVO曝光时间对拉伸的PDMS基底转移复合形貌的影响 | 第58-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
