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氧化锌纳米线的合成及其在碳微阵列上的集成工艺的研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 绪论第8-11页
    1.1 课题来源第8页
    1.2 选题概述第8-9页
    1.3 论文主要内容第9-11页
2 纳米材料合成与表征第11-17页
    2.1 纳米材料的合成第11-14页
    2.2 纳米材料的表征方法第14-16页
    2.3 本章小结第16-17页
3 纳米氧化锌的特性、研究进展以及应用第17-22页
    3.1 ZnO 的基本性质和特性第17-19页
    3.2 国内外发展现状第19-21页
    3.3 本章小结第21-22页
4 水热法制备 ZnO第22-32页
    4.1 实验材料及仪器第22页
    4.2 制备过程第22-24页
    4.3 纳米氧化锌的 SEM 形貌分析第24页
    4.4 水热法生长 ZnO 纳米线的生长参数的研究第24-28页
    4.5 氧化锌纳米线的 XRD 分析第28-30页
    4.6 氧化锌纳米线的 TEM 测量第30-31页
    4.7 本章小结第31-32页
5 基于 C-MEMS 的氧化锌纳米线的生长第32-40页
    5.1 实验材料及仪器第32页
    5.2 C-MEMS 的典型工艺第32-36页
    5.3 基于 C-MEMS 的氧化锌纳米线的生长第36-37页
    5.4 基于 C-MEMS 的氧化锌纳米线的生长的拓展探究第37-40页
6 结论与展望第40-42页
    6.1 本文结论第40页
    6.2 工作展望第40-42页
致谢第42-43页
参考文献第43-48页
附录 攻读硕士期间发表的学术论文及专利第48页

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