| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 负热膨胀材料概述 | 第10-11页 |
| 1.2 负热膨胀材料的分类 | 第11-12页 |
| 1.2.1 AM_2O_7系列NTE材料 | 第11页 |
| 1.2.2 AM_2O_8系列NTE材料 | 第11页 |
| 1.2.3 A_2M_3O_(12)系列NTE材料 | 第11-12页 |
| 1.3 负热膨胀的机理 | 第12-14页 |
| 1.3.1 相转变 | 第12页 |
| 1.3.2 桥氧原子的低能横向热振动 | 第12-13页 |
| 1.3.3 刚性多面体的旋转耦合 | 第13页 |
| 1.3.4 阳离子迁移 | 第13-14页 |
| 1.4 ZrW_(2-x)Mo_xO_8材料 | 第14-15页 |
| 1.5 负热膨胀材料的研究意义 | 第15页 |
| 1.6 PLD技术在薄膜材料研究中的应用 | 第15-17页 |
| 1.6.1 PLD技术原理 | 第16页 |
| 1.6.2 PLD技术优势 | 第16-17页 |
| 1.7 本课题提出的研究意义和目的 | 第17-18页 |
| 第二章 ZrW_(1.1)Mo_(0.9)O_8薄膜的制备及其负热膨胀性能研究 | 第18-30页 |
| 2.1 实验方法 | 第18-20页 |
| 2.1.1 样品的制备 | 第18-19页 |
| 2.1.2 样品的表征 | 第19-20页 |
| 2.2 靶材实验结果讨论与分析 | 第20-23页 |
| 2.2.1 XRD分析 | 第20-22页 |
| 2.2.2 TMA分析 | 第22-23页 |
| 2.3 PLD沉积条件对薄膜成分和结构的影响 | 第23-26页 |
| 2.3.1 XRD分析 | 第23-24页 |
| 2.3.2 SEM分析 | 第24-26页 |
| 2.4 热处理温度对薄膜成分和结构的影响 | 第26-29页 |
| 2.4.1 XRD分析 | 第26-28页 |
| 2.4.2 SEM分析 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 ZrW_(1.5)Mo_(0.5)O_8薄膜的制备及其负热膨胀性能研究 | 第30-45页 |
| 3.1 实验方法 | 第30-32页 |
| 3.1.1 样品的制备 | 第30-31页 |
| 3.1.2 样品的表征 | 第31-32页 |
| 3.2 靶材实验结果讨论与分析 | 第32-35页 |
| 3.2.1 粉末变温X射线衍分析 | 第32-34页 |
| 3.2.2 靶材的热膨胀性能分析 | 第34-35页 |
| 3.3 PLD沉积条件对薄膜成分和结构的影响 | 第35-41页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第35页 |
| 3.3.2 SEM分析 | 第35-38页 |
| 3.3.3 AFM分析 | 第38-40页 |
| 3.3.4 透光性能测量分析 | 第40-41页 |
| 3.4 热处理温度对薄膜成分和结构的影响 | 第41-43页 |
| 3.4.1 XRD分析 | 第41-42页 |
| 3.4.2 SEM分析 | 第42-43页 |
| 3.5 ZrW_(1.5)Mo_(0.5)O_8薄膜的负热膨胀性能分析 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 Y_2W_3O_(12)薄膜的制备及其负热膨胀性能研究 | 第45-54页 |
| 4.1 实验方法 | 第45-46页 |
| 4.1.1 样品的制备 | 第45-46页 |
| 4.1.2 样品的表征 | 第46页 |
| 4.2 靶材的成分和性质分析 | 第46-47页 |
| 4.3 PLD沉积条件对薄膜成分和结构的影响 | 第47-50页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第47-48页 |
| 4.3.2 SEM分析 | 第48-50页 |
| 4.4 热处理对薄膜成分和结构的影响 | 第50-52页 |
| 4.4.1 SEM分析 | 第50-51页 |
| 4.4.2 XRD分析 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 Sc_2W_3O_(12)薄膜的制备及其负热膨胀性能研究 | 第54-68页 |
| 5.1 实验方法 | 第55页 |
| 5.1.1 样品的制备 | 第55页 |
| 5.1.2 样品的表征 | 第55页 |
| 5.2 靶材实验结果讨论与分析 | 第55-59页 |
| 5.2.1 靶材的成分和形貌分析 | 第56-57页 |
| 5.2.2 靶材的负热膨胀特性分析 | 第57-59页 |
| 5.3 PLD沉积条件对薄膜结构和性质的影响 | 第59-64页 |
| 5.3.1 XRD分析 | 第59-60页 |
| 5.3.2 SEM分析 | 第60-61页 |
| 5.3.3 AFM分析 | 第61-62页 |
| 5.3.4 透光性能分析 | 第62-64页 |
| 5.4 热处理温度对薄膜形貌和性质的影响 | 第64-67页 |
| 5.4.1 SEM分析 | 第64-65页 |
| 5.4.2 XRD分析 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论 | 第68-71页 |
| 6.1 结论 | 第68-70页 |
| 6.2 存在问题和展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第80-81页 |
