| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1.绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9页 |
| 1.2 硬脆材料加工方法 | 第9-15页 |
| 1.2.1 金刚石锯片切割法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 游离磨粒线锯切割 | 第11-12页 |
| 1.2.3 电火花加工 | 第12页 |
| 1.2.4 固结磨粒金刚石线锯加工法 | 第12-14页 |
| 1.2.5 超声振动加工法 | 第14-15页 |
| 1.3 研究现状及存在问题 | 第15-17页 |
| 1.3.1 国内外对切割硬脆材料方法的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.2 存在问题 | 第17页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第17-19页 |
| 2 晶片表面形貌的分析和建模 | 第19-35页 |
| 2.1 脆性材料去除机理 | 第20-21页 |
| 2.2 磨粒切入深度的确定 | 第21-22页 |
| 2.3 线锯材料去除率的确定 | 第22-24页 |
| 2.4 仿真思路 | 第24页 |
| 2.5 线锯切入工件的过程 | 第24-29页 |
| 2.6 仿真模型及其结果分析 | 第29-33页 |
| 2.7 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 线锯锯切方形工件表面形貌试验 | 第35-43页 |
| 3.1 表面形貌成因分析 | 第35-38页 |
| 3.2 结果对比与模型验证 | 第38-42页 |
| 3.2.1 波纹宽度的实验 | 第38-40页 |
| 3.2.2 波纹深度的实验 | 第40-42页 |
| 3.3 误差分析 | 第42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 加工参数对表面形貌的影响分析及其优化 | 第43-55页 |
| 4.1 加工参数的选取 | 第43-44页 |
| 4.2 加工参数的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.1 工件进给速度对表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| 4.2.2 线锯速度对表面形貌的影响 | 第45-46页 |
| 4.2.3 线锯张紧力对表面形貌的影响 | 第46页 |
| 4.3 试验设计 | 第46-48页 |
| 4.4 响应曲面法建模 | 第48-50页 |
| 4.5 结果与分析 | 第50-53页 |
| 4.5.1 模型预测结果 | 第50页 |
| 4.5.2 Si单晶表面波纹深度响应曲面的分析及优化 | 第50-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 5 总结和展望 | 第55-57页 |
| 5.1 总结 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文参与项目与获奖 | 第65页 |