| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 光栅的发展以及研究的背景和意义 | 第10-15页 |
| 1.2 论文研究内容 | 第15-17页 |
| 1.2.1 亚波长光栅通过相位调控实现的光束控制能力的研究 | 第15-16页 |
| 1.2.2 亚波长光栅尺寸效应的研究 | 第16-17页 |
| 1.2.3 关于亚波长光栅的不同微结构以实现性能优化的研究 | 第17页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 高折射率差亚波长光栅的研究方法和基本特性 | 第20-32页 |
| 2.1 严格耦合波理论方法 | 第20-24页 |
| 2.1.1 入射光为TE偏振光 | 第21-23页 |
| 2.1.2 入射光为TM偏振光 | 第23-24页 |
| 2.2 有限元法 | 第24-25页 |
| 2.3 不同亚波长光栅结构特性 | 第25-30页 |
| 2.3.1 宽带高反高透特性 | 第25-27页 |
| 2.3.2 相位调制特性 | 第27-29页 |
| 2.3.3 偏振特性 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-32页 |
| 第三章 高折射率亚波长光栅的相关设计与仿真 | 第32-48页 |
| 3.1 一维光栅的相位调制 | 第34-39页 |
| 3.1.1 一维光束偏转 | 第35-37页 |
| 3.1.2 一维非周期亚波长光栅实现光束汇聚 | 第37-39页 |
| 3.2 汇聚光栅的尺寸效应 | 第39-43页 |
| 3.3 亚波长光栅的不同微结构的研究 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 第四章 二维非周期高折射率差亚波长汇聚光栅反射镜的制备和测试 | 第48-56页 |
| 4.1 SOI结构亚波长光栅制备方法概述 | 第48-50页 |
| 4.1.1 加工工艺 | 第49-50页 |
| 4.2 基于高折射率差亚波长光栅的宽光谱高反射镜测试 | 第50-53页 |
| 4.3 二维非周期高折射率差亚波长光栅反射镜测试 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第60页 |
