| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-32页 |
| 1.1 研究的背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-29页 |
| 1.2.1 超精密加工技术 | 第12-13页 |
| 1.2.2 超精密加工机床 | 第13-17页 |
| 1.2.3 超精密机床加工误差 | 第17-22页 |
| 1.2.4 光学元件光学性能评价 | 第22-26页 |
| 1.2.5 光学元件加工表面误差对光学性能的影响 | 第26-29页 |
| 1.3 主要研究内容及研究目的 | 第29-32页 |
| 第2章 超精密机床加工误差辨识与补偿模型建立 | 第32-50页 |
| 2.1 超精密机床误差的来源与分析 | 第32-33页 |
| 2.2 超精密机床加工误差模型的建立 | 第33-39页 |
| 2.3 光学性能分析与光学性能模型建立 | 第39-48页 |
| 2.3.1 光学性能评价指标分析 | 第39-41页 |
| 2.3.2 波前像差分析 | 第41-42页 |
| 2.3.3 基于光线追迹理论的光学性能模型建立 | 第42-48页 |
| 2.4 加工误差与光学性能映射模型的建立 | 第48-49页 |
| 2.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 超精密机床加工误差辨识与补偿模型 | 第50-92页 |
| 3.1 基于影响规律性加工误差辨识方法分析与仿真 | 第50-76页 |
| 3.1.1 超精密车削加工误差影响规律分析 | 第51-59页 |
| 3.1.2 超精密飞刀铣削加工误差影响规律分析 | 第59-65页 |
| 3.1.3 微透镜阵列主要加工误差分析与仿真 | 第65-76页 |
| 3.2 基于光学性能评价的加工误差辨识方法分析与仿真 | 第76-90页 |
| 3.2.1 加工误差与光学性能映射模型的分析与仿真 | 第76-81页 |
| 3.2.2 离轴三反系统反射镜的主要加工误差分析与仿真 | 第81-90页 |
| 3.3 本章小结 | 第90-92页 |
| 第4章 光学元件性能指标测量与评价 | 第92-108页 |
| 4.1 引言 | 第92-93页 |
| 4.2 微透镜阵列性能指标测量 | 第93-101页 |
| 4.2.1 基于激光干涉仪的微透镜阵列性能指标测量 | 第93-100页 |
| 4.2.2 基于成像系统的微透镜阵列焦斑测量 | 第100-101页 |
| 4.3 离轴抛物面反射镜波前像差测量 | 第101-104页 |
| 4.4 离轴三反光学系统波前像差测量 | 第104-106页 |
| 4.5 本章小结 | 第106-108页 |
| 第5章 实验及分析 | 第108-122页 |
| 5.1 基于影响规律性主要加工误差辨识与补偿实验 | 第108-111页 |
| 5.1.1 主要加工误差辨识实验 | 第108-109页 |
| 5.1.2 主要加工误差补偿实验 | 第109-111页 |
| 5.2 微透镜阵列加工实验 | 第111-116页 |
| 5.2.1 微透镜阵列面形精度提高策略 | 第113-116页 |
| 5.3 基于光学性能评价的加工误差辨识和补偿加工实验 | 第116-120页 |
| 5.3.1 主要加工误差辨识实验 | 第116-118页 |
| 5.3.2 光学性能的控制与提高 | 第118-120页 |
| 5.4 本章小结 | 第120-122页 |
| 第6章 总结与展望 | 第122-124页 |
| 6.1 课题总结 | 第122-123页 |
| 6.2 课题展望 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-134页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第134-136页 |
| 发表论文 | 第134-135页 |
| 参加科研 | 第135-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
