硅微陀螺的设计与仿真
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·硅微陀螺概述 | 第8-10页 |
| ·硅微陀螺分类 | 第8-9页 |
| ·硅微陀螺性能指标 | 第9-10页 |
| ·硅微陀螺国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第13-14页 |
| ·论文研究内容 | 第14-16页 |
| 2 硅微陀螺设计基础 | 第16-28页 |
| ·硅微陀螺基本原理 | 第16-17页 |
| ·硅微陀螺工作模态 | 第17-22页 |
| ·硅微陀螺动力学分析 | 第17-19页 |
| ·静电驱动模态设计 | 第19-21页 |
| ·电容检测模态设计 | 第21-22页 |
| ·硅微陀螺空气阻尼 | 第22-27页 |
| ·流场建模 | 第22-24页 |
| ·滑膜阻尼 | 第24-25页 |
| ·压膜阻尼 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 硅微陀螺结构设计 | 第28-36页 |
| ·有限元技术简介 | 第28-29页 |
| ·有限元方法 | 第28页 |
| ·ANSYS有限元软件 | 第28-29页 |
| ·梁、电容梳齿结构设计 | 第29-34页 |
| ·梁结构方案设计 | 第29-33页 |
| ·电容梳齿结构方案设计 | 第33-34页 |
| ·整体结构设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 硅微陀螺仿真分析 | 第36-53页 |
| ·抗过载仿真分析 | 第36-45页 |
| ·三维建模过载分析 | 第36-40页 |
| ·二维建模过载分析 | 第40-45页 |
| ·模态仿真分析 | 第45-49页 |
| ·三维建模模态分析 | 第45-46页 |
| ·二维建模模态分析 | 第46-49页 |
| ·空气阻尼仿真分析 | 第49-52页 |
| ·品质因数 | 第51-52页 |
| ·灵敏度 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 硅微陀螺优化设计与仿真 | 第53-59页 |
| ·结构优化设计方法概述 | 第53页 |
| ·抗过载优化设计 | 第53-55页 |
| ·优化模型 | 第53-54页 |
| ·整体质量优化 | 第54-55页 |
| ·最大变形位移优化 | 第55页 |
| ·模态优化设计 | 第55-57页 |
| ·阻尼优化分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论与展望 | 第59-60页 |
| ·结论 | 第59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
