| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 无机 EL 平板显示技术研究进展 | 第9-17页 |
| 1.1 无机 EL 显示的基本原理 | 第9-10页 |
| 1.2 无机 EL 器件中各层的作用、要求及研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 无机 EL 显示器和其他平板显示器的性能比较 | 第14-16页 |
| 1.4 本人的工作内容 | 第16-17页 |
| 第二章 无机 EL 的发展历史 | 第17-27页 |
| 2.1 TFEL 和 TDEL 的发展历程 | 第17-19页 |
| 2.2 TDEL 的研究 | 第19-22页 |
| 2.3 TFEL 的研究 | 第22-25页 |
| 2.4 无机 EL 在国内的发展 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 无机 EL 显示器件所使用的介质材料 | 第27-46页 |
| 3.1 无机 EL 的介质要求 | 第27-29页 |
| 3.2 BST 薄膜的研究进展 | 第29-41页 |
| 3.3 TA2O5薄膜的研究进展 | 第41-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 AL_2O_3薄膜的制备和研究 | 第46-57页 |
| 4.1 AL_2O_3的结构、特性和应用 | 第46页 |
| 4.2 AL_2O_3薄膜的制备方法 | 第46-47页 |
| 4.3 沉积工艺对 AL_2O_3薄膜沉积速率的影响 | 第47-51页 |
| 4.4 沉积工艺对 AL_2O_3薄膜介电性能的影响 | 第51-52页 |
| 4.5 脉冲反应溅射和电子束蒸发 AL_2O_3薄膜的介电性能比较 | 第52-53页 |
| 4.6 脉冲反应溅射和电子束蒸发 AL_2O_3薄膜在 TFEL 的应用 | 第53-55页 |
| 4.7 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 总结和展望 | 第57-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第57页 |
| 5.2 展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第64-66页 |
