本征非晶硅薄膜的激光晶化研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
第一章 绪论	第11-23页
·引言	第11-12页
·太阳电池基础	第12-17页
·太阳能电池的内光电效应	第13页
·太阳电池分类	第13-17页
·非晶硅薄膜的晶化	第17-19页
·非晶硅薄膜晶化的方法	第17-18页
·激光晶化机理	第18-19页
·研究内容	第19-20页
参考文献	第20-23页
第二章 非晶硅薄膜的制备过程及性能表征	第23-39页
·硅薄膜的制备方法	第23-32页
·衬底的清洗工艺	第23页
·脉冲激光沉积（PLD）法制备硅薄膜	第23-26页
·PECVD 法制备非晶硅薄膜	第26-29页
·磁控溅射技术制备非晶硅薄膜	第29-32页
·薄膜微观结构表征和分析	第32-38页
·激光拉曼光谱测试	第32-35页
·紫外可见近红外分光光度计	第35页
·霍尔效应测试仪	第35-36页
·扫描电子显微镜	第36-38页
参考文献	第38-39页
第三章 连续激光晶化本征非晶硅薄膜的研究	第39-51页
·引言	第39页
·实验方法	第39-40页
·实验结果与讨论	第40-46页
·拉曼光谱结果分析	第40-45页
·样品形貌分析	第45-46页
·本章小结	第46-48页
参考文献	第48-51页
第四章 准分子激光晶化本征非晶硅薄膜的特性研究	第51-61页
·引言	第51-52页
·实验方法	第52页
·实验结果与讨论	第52-58页
·拉曼光谱分析	第52-56页
·霍尔测试仪测试电学性能分析	第56-57页
·样品的形貌分析	第57-58页
·本章小结	第58-59页
参考文献	第59-61页
第五章 结论和展望	第61-63页
·结论	第61-62页
·展望	第62-63页
致谢	第63-64页
攻读学位期间发表的学术论文	第64-65页