| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 ICP-MS 的仪器组成 | 第9-10页 |
| 1.2 碰撞反应池和离子透镜系统的发展现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 碰撞反应池技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 离子透镜系统 | 第11-12页 |
| 1.3 本课题的研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 碰撞反应池原理与其影响因素 | 第14-25页 |
| 2.1 碰撞反应池原理 | 第14-16页 |
| 2.1.1 离子分子反应 | 第14-16页 |
| 2.1.2 连续化学反应 | 第16页 |
| 2.2 碰撞池和反应池的区分 | 第16-17页 |
| 2.2.1 按去除离子过程区分碰撞反应池 | 第17页 |
| 2.2.2 按去除副产物手段区分碰撞反应池 | 第17页 |
| 2.3 碰撞反应池效率的影响因素 | 第17-24页 |
| 2.3.1 离子热特性对碰撞反应的影响 | 第17-21页 |
| 2.3.2 场对碰撞反应池的影响 | 第21页 |
| 2.3.3 二次离子对碰撞反应效率的影响 | 第21-23页 |
| 2.3.4 气体种类的选择和流量的优化 | 第23-24页 |
| 2.4 小结 | 第24-25页 |
| 第三章 碰撞反应池内离子运动特性模拟研究 | 第25-42页 |
| 3.1 多极杆工作原理 | 第25-27页 |
| 3.2 模型的建立和实验条件的选择 | 第27-28页 |
| 3.3 碰撞反应池中离子运动特性的模拟 | 第28-37页 |
| 3.3.1 高真空下离子在碰撞反应池中运动特性的研究 | 第28-32页 |
| 3.3.2 低真空下离子在碰撞反应池中运动特性研究 | 第32-37页 |
| 3.4 实验与讨论 | 第37-41页 |
| 3.4.1 仪器与试剂 | 第37-38页 |
| 3.4.2 信号强度与 q 值关系 | 第38页 |
| 3.4.3 气体流量优化实验 | 第38-39页 |
| 3.4.4 施加补偿电压研究轴向电压对碰撞反应池的影响 | 第39-41页 |
| 3.5 小结 | 第41-42页 |
| 第四章 离子透镜系统原理及结构设计 | 第42-54页 |
| 4.1 离子透镜系统作用 | 第42页 |
| 4.2 90°偏转透镜系统设计原理 | 第42-45页 |
| 4.2.1 90°偏转透镜的二维电场推导计算 | 第42-44页 |
| 4.2.2 电势分布 | 第44-45页 |
| 4.3 90°偏转透镜系统的结构设计 | 第45-48页 |
| 4.3.1 离子透镜系统中极杆杆径和场内径比值的确定 | 第45-46页 |
| 4.3.2 增加带电平板电极减弱边缘场的影响 | 第46-47页 |
| 4.3.3 增加上下极板能够对离子聚焦 | 第47页 |
| 4.3.4 增加进出口平板电极改善离子束形 | 第47-48页 |
| 4.4 离子透镜的机械结构图及相关加工工艺设计 | 第48-53页 |
| 4.4.1 材料的选择 | 第48-49页 |
| 4.4.2 各个透镜尺寸图和机械总图 | 第49-53页 |
| 4.5 小结 | 第53-54页 |
| 第五章 离子透镜系统参数选择与性能评价 | 第54-66页 |
| 5.1 用 Simion 8.1 对试制部件进行模拟对电压参数预选择 | 第54-59页 |
| 5.1.1 建立透镜系统参数优化模拟模型 | 第54-56页 |
| 5.1.2 确定模拟时离子的初始条件 | 第56页 |
| 5.1.3 入射透镜电压参数置零确定极杆 1 和壳体电压 | 第56-58页 |
| 5.1.4 确定入射透镜电压参数 | 第58-59页 |
| 5.2 实验平台 | 第59-60页 |
| 5.3 试制部件性能评价 | 第60-65页 |
| 5.3.1 90 度偏转对 In 元素在不同补偿极板电压下的实验 | 第60-62页 |
| 5.3.2 入射透镜电压参数优化实验 | 第62-64页 |
| 5.3.3 最终优化后测试结果 | 第64-65页 |
| 5.4 小结 | 第65-66页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 工作总结 | 第66页 |
| 6.2 存在问题 | 第66-67页 |
| 6.3 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
