| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 论文产生的背景及意义 | 第10页 |
| 1.3 国内外的发展状况 | 第10-12页 |
| 1.3.1 国内的发展状况 | 第11页 |
| 1.3.2 国外的发展状况 | 第11-12页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 多表面轮廓测量干涉仪的系统设计 | 第14-43页 |
| 2.1 引言 | 第14-15页 |
| 2.2 光干涉基础 | 第15-17页 |
| 2.2.1 光的干涉条件 | 第15-16页 |
| 2.2.2 干涉条纹的反衬度 | 第16页 |
| 2.2.3 两束平行光的干涉 | 第16-17页 |
| 2.3 干涉仪介绍 | 第17-26页 |
| 2.3.1 传统相位干涉仪介绍 | 第18-20页 |
| 2.3.2 频率扫描类干涉仪 | 第20-26页 |
| 2.4 抛光缺陷的检测 | 第26-30页 |
| 2.4.1 多表面轮廓测量系统检出率 | 第26-27页 |
| 2.4.2 多表面轮廓测量系统数据符合性 | 第27-29页 |
| 2.4.3 多表面轮廓测量产能 | 第29-30页 |
| 2.5 多表面轮廓测量系统设计 | 第30-36页 |
| 2.5.1 多表面轮廓测量系统研发背景 | 第30页 |
| 2.5.2 多表面轮廓测量可调谐激光源 | 第30-35页 |
| 2.5.3 多表面轮廓测量干涉头 | 第35-36页 |
| 2.6 多表面轮廓测量系统检测平面度测量 | 第36-39页 |
| 2.6.1 平面面形整体测量 | 第36-37页 |
| 2.6.2 平面微观表面波度测量 | 第37-38页 |
| 2.6.3 平面局部面形测量 | 第38-39页 |
| 2.6.4 球面参考测量 | 第39页 |
| 2.7 多表面轮廓测量系统厚度参数测量 | 第39-40页 |
| 2.7.1 总厚度偏差 | 第39-40页 |
| 2.7.2 局部厚度偏差 | 第40页 |
| 2.8 多表面轮廓测量基准面定义 | 第40-41页 |
| 2.9 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 多表面轮廓测量系统的应用 | 第43-57页 |
| 3.1 多表面轮廓测量的检测实例 | 第43-47页 |
| 3.1.1 非透明产品测量 | 第43-45页 |
| 3.1.2 常规透明玻璃测量 | 第45-47页 |
| 3.2 多表面轮廓测量系统程序编辑和设置 | 第47-52页 |
| 3.2.1 命令/页面按钮 | 第47-48页 |
| 3.2.2 测量设置举例 | 第48-51页 |
| 3.2.3 多表面轮廓测量检测区域设置 | 第51-52页 |
| 3.3 多表面轮廓测量系统实际检测Willow玻璃并改善 | 第52-53页 |
| 3.4 多表面轮廓测量系统在抛光中的应用 | 第53-55页 |
| 3.5 多表面轮廓测量系统对镂空光学窗口片的检测 | 第55-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 总结和展望 | 第57-59页 |
| 4.1 总结 | 第57-58页 |
| 4.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |