| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 射频电源的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 射频电源控制技术发展 | 第13-14页 |
| 1.2.3 射频电源功率控制方式 | 第14-16页 |
| 1.3 本文主要研究工作 | 第16-19页 |
| 第2章 射频电源拓扑结构分析 | 第19-35页 |
| 2.1 射频电源工作原理 | 第19-20页 |
| 2.2 全桥串联谐振逆变器工作原理分析 | 第20-31页 |
| 2.2.1 串联谐振原理 | 第20-23页 |
| 2.2.2 全桥串联谐振逆变器工作原理 | 第23-25页 |
| 2.2.3 全桥串联谐振逆变器工作状态分析 | 第25-27页 |
| 2.2.4 全桥式串联谐振逆变器基本设计分析 | 第27-29页 |
| 2.2.5 死区时间 | 第29-31页 |
| 2.3 三次谐波谐振原理 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 三次谐波谐振固态射频电源设计 | 第35-49页 |
| 3.1 三次谐波谐振固态射频电源整机方案 | 第35页 |
| 3.2 主电路设计 | 第35-42页 |
| 3.2.1 系统主电路工作原理 | 第35-36页 |
| 3.2.2 主电路元件参数设计 | 第36-42页 |
| 3.3 控制电路部分设计 | 第42-47页 |
| 3.3.1 锁相电路设计 | 第42-45页 |
| 3.3.2 控制及驱动电路设计 | 第45-46页 |
| 3.3.3 辅助及驱动电源设计 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 仿真结果 | 第49-63页 |
| 4.1 系统主电路仿真及结果分析 | 第49-59页 |
| 4.2 控制电路试验结果分析 | 第59-61页 |
| 4.2.1 锁相控制电路测试 | 第59-61页 |
| 4.2.2 隔离驱动电路测试 | 第61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 射频电源设计理论总结分析 | 第63-71页 |
| 5.1 普通MOSFET与RF MOSFET比较分析 | 第63-67页 |
| 5.2 射频电源设计器件选择考量 | 第67-69页 |
| 5.3 固态射频电源PCB设计总结 | 第69页 |
| 5.4 抑制噪声和干扰的措施 | 第69-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第6章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 总结 | 第71-72页 |
| 6.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |