| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 激光微细加工技术的现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 靶球微孔加工的现状 | 第11-12页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 紫外激光和飞秒激光与靶材的作用机理 | 第14-25页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 紫外激光与靶材的相互作用 | 第14-22页 |
| 2.2.1 紫外激光与靶材相互作用的机理 | 第14-18页 |
| 2.2.2 紫外激光与神光Ⅲ靶材的消融原理 | 第18-20页 |
| 2.2.3 紫外激光热源的处理及光能量的吸收 | 第20-22页 |
| 2.3 飞秒激光与金属靶材作用的原理 | 第22-23页 |
| 2.4 激光加工靶材温度场的数学模型 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 聚苯乙烯靶球的紫外激光微孔加工技术研究 | 第25-42页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 靶球微孔加工技术有限元仿真 | 第25-32页 |
| 3.2.1 聚苯乙烯靶球的紫外激光打孔技术有限元模型 | 第26-27页 |
| 3.2.2 聚苯乙烯靶材的紫外激光打孔技术加工过程仿真 | 第27-31页 |
| 3.2.3 激光光压力及靶球内外压强差对孔加工熔渣的影响 | 第31-32页 |
| 3.3 靶球微孔加工的定位方式及最高点的确定 | 第32-35页 |
| 3.3.1 无附加热源时靶球定位方式的设计 | 第33-34页 |
| 3.3.2 有附加热源时靶球定位方式的确定 | 第34-35页 |
| 3.4 聚苯乙烯靶球的紫外激光微孔加工技术试验研究 | 第35-41页 |
| 3.4.1 紫外激光试验装置简介 | 第35页 |
| 3.4.2 靶球微孔紫外激光加工工艺研究 | 第35-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 靶材激光微细加工试验研究 | 第42-52页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 金属靶材薄板紫外激光微细加工试验研究 | 第42-47页 |
| 4.2.1 紫外激光划切钽薄板试验 | 第42-44页 |
| 4.2.2 紫外激光划切铜、铝、钛薄板试验 | 第44-47页 |
| 4.3 金属靶材薄板飞秒激光微细加工试验研究 | 第47-51页 |
| 4.3.1 飞秒激光试验装置简介 | 第47-48页 |
| 4.3.2 工艺参数对金属薄板微槽加工宽度的影响 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
