基于双闭环反馈的精密工作台设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 精密定位工作台的国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题的研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 精密工作台的方案研究与搭建 | 第15-24页 |
| 2.1 粗动工作台的搭建 | 第15-21页 |
| 2.1.1 粗动工作台承载装置 | 第16页 |
| 2.1.2 粗动工作台驱动装置 | 第16-20页 |
| 2.1.3 粗动工作台位移检测装置 | 第20-21页 |
| 2.2 精动定位工作台方案研究和搭建 | 第21-23页 |
| 2.2.1 精动工作台方案研究 | 第21-23页 |
| 2.2.2 精动工作台的系统结构 | 第23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 压电陶瓷原理特性分析及驱动控制 | 第24-34页 |
| 3.1 压电陶瓷工作原理 | 第24-25页 |
| 3.2 压电陶瓷特性分析 | 第25-28页 |
| 3.2.1 迟滞特性 | 第25-26页 |
| 3.2.2 非线性特征 | 第26页 |
| 3.2.3 蠕变特性 | 第26-27页 |
| 3.2.4 温度特性 | 第27页 |
| 3.2.5 刚度特性 | 第27页 |
| 3.2.6 压电陶瓷误差分析 | 第27-28页 |
| 3.3 压电陶瓷驱动器控制策略 | 第28-33页 |
| 3.3.1 PID 闭环控制策略 | 第28-32页 |
| 3.3.2 电压蠕变模型及控制策略 | 第32-33页 |
| 3.3.3 PID 控制器 | 第33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动器相关设计 | 第34-48页 |
| 4.1 压电陶瓷驱动器系统硬件结构 | 第34页 |
| 4.2 压电陶瓷驱动器的驱动电源设计 | 第34-39页 |
| 4.2.1 压电陶瓷驱动器驱动电源结构 | 第34-35页 |
| 4.2.2 D/A 转换电路 | 第35页 |
| 4.2.3 功率放大电路 | 第35-37页 |
| 4.2.4 电压跟随器 | 第37-38页 |
| 4.2.5 快速放电电路 | 第38-39页 |
| 4.3 压电陶瓷驱动器反馈系统的整体设计 | 第39-46页 |
| 4.3.1 应变片的选择 | 第39-40页 |
| 4.3.2 检测电桥电路 | 第40-42页 |
| 4.3.3 放大电路 | 第42-44页 |
| 4.3.4 滤波电路 | 第44-45页 |
| 4.3.5 模数转换电路 | 第45-46页 |
| 4.4 系统软件设计 | 第46-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 仿真及实验结果分析 | 第48-51页 |
| 5.1 精动工作台性能测试 | 第48-50页 |
| 5.1.1 迟滞性测试 | 第48-49页 |
| 5.1.2 动态性能测试 | 第49-50页 |
| 5.2 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
