| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·硬质纳米薄膜的类型、研究现状和发展趋势 | 第14-19页 |
| ·单元及多元纳米薄膜 | 第15页 |
| ·多层薄膜 | 第15-17页 |
| ·梯度薄膜 | 第17页 |
| ·新型薄膜 | 第17-19页 |
| ·摩擦磨损理论 | 第19-24页 |
| ·滑动摩擦理论 | 第20-21页 |
| ·摩擦机理 | 第21-23页 |
| ·磨损类型与机理 | 第23-24页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第24-26页 |
| ·选题意义 | 第24-25页 |
| ·研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 薄膜的制备与性能表征 | 第26-33页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·薄膜的制备方法与实验设备 | 第26-27页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第26-27页 |
| ·磁控溅射原理及优缺点 | 第27页 |
| ·本实验所用设备 | 第27页 |
| ·镀膜前的处理 | 第27-29页 |
| ·镀膜前基底的处理 | 第27-28页 |
| ·薄膜的制备工艺过程 | 第28-29页 |
| ·薄膜的性能检测 | 第29-30页 |
| ·薄膜的检测设备 | 第30-33页 |
| ·XRD | 第30页 |
| ·SEM | 第30-31页 |
| ·EDS | 第31页 |
| ·MM-6 显微硬度仪 | 第31-32页 |
| ·UMT-2 型摩擦磨损试验机 | 第32页 |
| ·箱式电阻炉 | 第32-33页 |
| 第3章 MoN 薄膜的微结构及性能研究 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验过程 | 第33-34页 |
| ·实验结果与讨论 | 第34-40页 |
| ·靶功率对MoN 薄膜微结构的影响 | 第34-35页 |
| ·靶功率对MoN 薄膜力学性能的影响 | 第35-36页 |
| ·靶功率对MoN 抗氧化性能的影响 | 第36-39页 |
| ·靶功率对MoN 薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 低Mo 含量TiMoN 复合膜的微结构及性能研究 | 第41-56页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验过程 | 第41-42页 |
| ·TiMoN 薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·TiMoN 复合膜的表征 | 第42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-54页 |
| ·Mo 靶功率对TiMoN 复合膜中Mo 含量的影响 | 第42-43页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜微结构的影响 | 第43-44页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜力学性能的影响 | 第44页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜抗氧化性能的影响 | 第44-47页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜的室温摩擦磨损性能的影响 | 第47-51页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜的高温摩擦磨损性能的影响 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 高Mo 含量TiMoN 复合膜的微结构及性能研究 | 第56-72页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·实验方法 | 第56-57页 |
| ·TiMoN 薄膜的制备 | 第56页 |
| ·TiMoN 复合膜的表征 | 第56-57页 |
| ·结果与讨论 | 第57-71页 |
| ·Mo 靶功率对TiMoN 复合膜中Mo 含量的影响 | 第57页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜微结构的影响 | 第57-59页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜力学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜高温抗氧化性能的影响 | 第60-62页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜室温摩擦磨损性能的影响 | 第62-64页 |
| ·Mo 含量对TiMoN 复合膜高温摩擦系数的影响 | 第64-70页 |
| ·低Mo 和高Mo 含量TiMoN 复合膜微结构与性能的比较 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 详细摘要 | 第81-85页 |
