| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-27页 |
| 1.1 引言 | 第14页 |
| 1.2 ZnO的基本性质 | 第14-16页 |
| 1.3 SnO_2的特性 | 第16-17页 |
| 1.4 NiO的阻变特性 | 第17-20页 |
| 1.5 金属氧化物薄膜的制备方法 | 第20-23页 |
| 1.5.1 溅射法 | 第21页 |
| 1.5.2 化学气相沉积法 | 第21页 |
| 1.5.3 喷雾热解法 | 第21-22页 |
| 1.5.4 溶胶凝胶法 | 第22页 |
| 1.5.5 新的薄膜制备技术 | 第22-23页 |
| 1.6 二元复合金属氧化物的研究 | 第23-25页 |
| 1.7 本文研究内容与工作安排 | 第25-27页 |
| 第2章 锌锡复合薄膜的制备与表征 | 第27-47页 |
| 2.1 锌锡复合薄膜的制备 | 第27-30页 |
| 2.1.1 实验所用的设备与器材 | 第27-28页 |
| 2.1.2 主要原料 | 第28页 |
| 2.1.3 实验流程 | 第28-30页 |
| 2.2 薄膜样品的表征手段 | 第30-34页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析仪 | 第31页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第31页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜 | 第31-32页 |
| 2.2.4 紫外可见光光度计 | 第32页 |
| 2.2.5 电化学工作站 | 第32-33页 |
| 2.2.6 扫描探针显微镜 | 第33-34页 |
| 2.3 锌锡复合薄膜样品的表征 | 第34-42页 |
| 2.3.1 结构分析 | 第34-36页 |
| 2.3.2 表面形貌分析 | 第36-38页 |
| 2.3.3 光学特性 | 第38-39页 |
| 2.3.4 电学特性 | 第39-42页 |
| 2.4 Ag-Li共掺杂ZnO-SnO_2复合薄膜的表征 | 第42-45页 |
| 2.4.1 光学特性 | 第42-43页 |
| 2.4.2 电学特性 | 第43-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第3章 氧化镍薄膜的制备与表征 | 第47-83页 |
| 3.1 氧化镍薄膜的制备 | 第47-48页 |
| 3.2 不同浓度的氧化镍薄膜制备 | 第48-53页 |
| 3.2.1 XRD分析 | 第48-49页 |
| 3.2.2 表面形貌分析 | 第49-50页 |
| 3.2.3 光学性能 | 第50-52页 |
| 3.2.4 电学特性 | 第52-53页 |
| 3.3 不同膜层对氧化镍薄膜的影响 | 第53-56页 |
| 3.3.1 光学特性 | 第53-55页 |
| 3.3.2 电学特性 | 第55-56页 |
| 3.3 不同温度对氧化镍薄膜的影响 | 第56-60页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第56-57页 |
| 3.3.2 表面形貌 | 第57页 |
| 3.3.3 光学特性 | 第57-59页 |
| 3.3.4 电学特性 | 第59-60页 |
| 3.4 不同退火时间对氧化镍薄膜的影响 | 第60-64页 |
| 3.4.1 XRD分析 | 第60-61页 |
| 3.4.2 表面形貌 | 第61-62页 |
| 3.4.3 光学特性 | 第62-63页 |
| 3.4.4 电学特性 | 第63-64页 |
| 3.5 铜掺杂对氧化镍薄膜的影响 | 第64-67页 |
| 3.5.1 光学特性 | 第64-65页 |
| 3.5.2 电学特性 | 第65-67页 |
| 3.6 不同温度对铜掺杂氧化镍薄膜的影响 | 第67-72页 |
| 3.6.1 光学特性 | 第67-68页 |
| 3.6.2 电学特性 | 第68-72页 |
| 3.7 Li-Ru共掺杂氧化镍薄膜的制备与表征 | 第72-75页 |
| 3.7.1 光学特性 | 第72-73页 |
| 3.7.2 电学特性 | 第73-75页 |
| 3.8 Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜的制备与表征 | 第75-78页 |
| 3.8.1 光学特性 | 第75-76页 |
| 3.8.2 电学特性 | 第76-78页 |
| 3.9 退火温度对Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜的影响 | 第78-81页 |
| 3.9.1 表面形貌 | 第78页 |
| 3.9.2 光学特性 | 第78-79页 |
| 3.9.3 电学特性 | 第79-81页 |
| 3.10 本章小结 | 第81-83页 |
| 第4章 镍锡复合薄膜的制备与表征 | 第83-117页 |
| 4.1 镍锡复合薄膜的制备 | 第83-86页 |
| 4.1.1 溶胶的制备 | 第83-86页 |
| 4.2 镍锡复合薄膜样品的表征 | 第86-96页 |
| 4.2.1 结构分析 | 第86-88页 |
| 4.2.2 表面形貌分析 | 第88-91页 |
| 4.2.3 光学特性 | 第91-93页 |
| 4.2.4 电学特性 | 第93-96页 |
| 4.3 退火温度对NiO-SnO_2复合薄膜的影响 | 第96-102页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第96-97页 |
| 4.3.2 表面形貌分析 | 第97-98页 |
| 4.3.3 光学特性分析 | 第98-100页 |
| 4.3.4 电学特性分析 | 第100-102页 |
| 4.4 Al掺杂NiO薄膜 | 第102-107页 |
| 4.4.1 XRD分析 | 第102页 |
| 4.4.2 表面形貌分析 | 第102-104页 |
| 4.4.3 光学特性分析 | 第104-106页 |
| 4.4.4 电学特性分析 | 第106-107页 |
| 4.5 Ru-Al共掺杂NiO-SnO_2复合薄膜 | 第107-115页 |
| 4.5.1 XRD分析 | 第107-108页 |
| 4.5.2 表面形貌分析 | 第108-111页 |
| 4.5.3 光学特性分析 | 第111-113页 |
| 4.5.4 电学特性分析 | 第113-115页 |
| 4.6 本章小结 | 第115-117页 |
| 第5章 镍锌复合薄膜的制备与表征 | 第117-130页 |
| 5.1 镍锌复合薄膜的制备 | 第117-119页 |
| 5.1.1 镍锌复合溶胶的制备 | 第117-119页 |
| 5.2 镍锌复合薄膜样品的表征 | 第119-128页 |
| 5.2.1 结构分析 | 第119-120页 |
| 5.2.2 表面形貌分析 | 第120-122页 |
| 5.2.3 光学特性分析 | 第122-124页 |
| 5.2.4 电学性能分析 | 第124-128页 |
| 5.6 本章小结 | 第128-130页 |
| 第6章 结论与展望 | 第130-132页 |
| 6.1 结论 | 第130-131页 |
| 6.2 展望 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第142页 |
