| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究目的 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外的研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 板间垂直互连的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 钎料凸点的制作技术 | 第11-13页 |
| 1.2.3 钎料和焊盘的界面反应 | 第13-17页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验材料与方法 | 第18-25页 |
| 2.1 实验过程概述 | 第18页 |
| 2.2 实验材料 | 第18页 |
| 2.3 实验设备与方法 | 第18-23页 |
| 2.3.1 转接板植球和板间键合设备 | 第18-19页 |
| 2.3.2 激光重熔植球和板间键合实验过程 | 第19-20页 |
| 2.3.3 显微组织与成分分析设备 | 第20-21页 |
| 2.3.4 双面凸点剪切试验及断口分析 | 第21页 |
| 2.3.5 焊点组织试样的制备和分析 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-25页 |
| 第3章 双面凸点转接板的凸点的制备工艺 | 第25-37页 |
| 3.1 双面凸点转接板的设计 | 第25-27页 |
| 3.1.1 双面凸点转接板结构的设计 | 第25-26页 |
| 3.1.2 双面凸点转接板焊盘设计 | 第26-27页 |
| 3.2 双面凸点转接板钎料凸点的制备 | 第27-36页 |
| 3.2.1 激光实现转接板的双面植球 | 第27-28页 |
| 3.2.2 激光重熔时间对凸点表面形貌的影响 | 第28-30页 |
| 3.2.3 钎料凸点的共面性 | 第30页 |
| 3.2.4 钎料凸点的剪切试验 | 第30-34页 |
| 3.2.5 钎料凸点的组织对比分析 | 第34-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 激光重熔钎料凸点界面微观组织分析 | 第37-55页 |
| 4.1 凸点激光重熔过程的界面与组织 | 第37-43页 |
| 4.1.1 凸点激光重熔过程中的界面反应机理 | 第37-38页 |
| 4.1.2 钎料凸点激光重熔过程中的界面反应 | 第38-40页 |
| 4.1.3 激光重熔过程中的晶粒及其取向分析 | 第40-43页 |
| 4.2 激光重熔时间对钎料凸点界面及内部组织的影响 | 第43-53页 |
| 4.2.1 SnPb 共晶钎料随激光重熔凸点界面及内部组织的变化 | 第43-48页 |
| 4.2.2 SAC 钎料随激光重熔凸点界面及内部组织的变化 | 第48-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 双面凸点转接板的板间键合及组织演变 | 第55-66页 |
| 5.1 热风重熔实现板间键合连接 | 第55-57页 |
| 5.2 板间键合二次重熔的凸点界面及内部组织形态 | 第57-64页 |
| 5.2.1 SnPb 共晶钎料凸点在板间键合后的界面及内部组织 | 第57-60页 |
| 5.2.2 SAC/Cu 钎料凸点在板间键合后的界面及内部组织 | 第60-63页 |
| 5.2.3 SAC/ENIG 钎料凸点在板间键合后的界面及内部组织 | 第63-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
