液动压悬浮抛光装置研制及试验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题研究意义 | 第10-11页 |
| 1.3 超光滑表面加工研究现状 | 第11-16页 |
| 1.4 超光滑表面加工存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.5 课题的提出及主要研究内容 | 第17-20页 |
| 1.5.1 课题的提出 | 第17-18页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 液动压悬浮抛光原理分析及数值模拟 | 第20-34页 |
| 2.1 传统抛光材料去除机理 | 第20-22页 |
| 2.2 液动压悬浮抛光原理分析 | 第22-25页 |
| 2.2.1 流体动压润滑理论 | 第22-24页 |
| 2.2.2 液动压悬浮抛光原理 | 第24-25页 |
| 2.3 抛光区域的数值模拟研究 | 第25-32页 |
| 2.3.1 粘性流体力学基本理论 | 第25-27页 |
| 2.3.2 仿真模型建立及网格划分 | 第27-29页 |
| 2.3.3 数值模拟边界条件设置 | 第29-30页 |
| 2.3.4 数值模拟结果及分析 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 液动压悬浮抛光装置的研制 | 第34-48页 |
| 3.1 试验装置的总体设计 | 第34-36页 |
| 3.1.1 试验装置的设计要求 | 第34页 |
| 3.1.2 试验装置的总体设计方案 | 第34-36页 |
| 3.2 光学隔振平台 | 第36-37页 |
| 3.3 抛光装置结构设计 | 第37-40页 |
| 3.3.1 机械结构总体设计 | 第37-38页 |
| 3.3.2 微进给调控系统设计 | 第38-39页 |
| 3.3.3 传动轴的设计 | 第39-40页 |
| 3.4 伺服电机控制系统设计 | 第40-47页 |
| 3.4.1 伺服控制系统概述 | 第40-41页 |
| 3.4.2 伺服电机与驱动控制器选型 | 第41-43页 |
| 3.4.3 速度控制系统设计 | 第43-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 抛光装置的模态分析 | 第48-62页 |
| 4.1 模态分析理论 | 第48-51页 |
| 4.2 抛光工具盘模态分析 | 第51-54页 |
| 4.3 模态试验测试系统 | 第54-56页 |
| 4.3.1 模态试验方案的确定 | 第54页 |
| 4.3.2 LMS Test. Lab软件简介 | 第54-55页 |
| 4.3.3 LMS SCADAS数据采集系统 | 第55-56页 |
| 4.3.4 加速度传感器 | 第56页 |
| 4.4 模态试验参数识别 | 第56-57页 |
| 4.5 模态试验过程及结果分析 | 第57-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 液动压悬浮抛光试验研究 | 第62-70页 |
| 5.1 液动压悬浮抛光试验的准备 | 第62-65页 |
| 5.1.1 研磨设备 | 第62-63页 |
| 5.1.2 研磨抛光液的配制 | 第63-64页 |
| 5.1.3 机械研磨流程 | 第64-65页 |
| 5.2 液动压悬浮抛光超光滑表面 | 第65-66页 |
| 5.3 铜试样表征 | 第66-68页 |
| 5.3.1 测试设备 | 第66页 |
| 5.3.2 平面度分析 | 第66-68页 |
| 5.3.3 TEM测试分析 | 第68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 本文总结 | 第70-71页 |
| 6.2 课题展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第78页 |
