摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
1 绪论 | 第10-21页 |
1.1 光反馈自混合干涉测量技术的兴起 | 第10页 |
1.2 常用的微位移测量方法 | 第10-11页 |
1.2.1 光学测量方法 | 第10-11页 |
1.2.2 显微镜测量方法 | 第11页 |
1.2.3 电学测量方法 | 第11页 |
1.3 OFSMI效应的理论模型 | 第11-13页 |
1.4 OFSMI位移测量技术的研究进展 | 第13-20页 |
1.4.1 条纹计数法 | 第13-15页 |
1.4.2 相位测量法 | 第15-18页 |
1.4.3 相位锁定法 | 第18页 |
1.4.4 外差拍频法 | 第18-19页 |
1.4.5 其他的OFSMI位移测量方法 | 第19-20页 |
1.5 论文主要工作与结构安排 | 第20-21页 |
2 OFSMI位移测量实验系统及位移测量算法的结构 | 第21-25页 |
2.1 OFSMI位移测量实验系统 | 第21-23页 |
2.2 位移测量算法的结构 | 第23-24页 |
2.3 本章小结 | 第24-25页 |
3 整数条纹检测 | 第25-39页 |
3.1 小波变换整数条纹检测算法 | 第25-30页 |
3.1.1 小波变换奇异点检测 | 第25-26页 |
3.1.2 OFSMI信号的奇异性 | 第26页 |
3.1.3 算法设计 | 第26-28页 |
3.1.4 含噪声信号仿真 | 第28-30页 |
3.2 希尔伯特变换整数条纹检测算法 | 第30-38页 |
3.2.1 希尔伯特变换和瞬时相位理论 | 第30-31页 |
3.2.2 OFSMI信号的瞬时相位 | 第31-32页 |
3.2.3 算法设计 | 第32-37页 |
3.2.4 含噪声信号仿真 | 第37-38页 |
3.3 本章小结 | 第38-39页 |
4 小数条纹位移测量 | 第39-52页 |
4.1 光反馈机制判断算法 | 第39-41页 |
4.1.1 算法设计 | 第39-41页 |
4.1.2 算法仿真 | 第41页 |
4.2 适度OFSMI小数条纹位移测量算法 | 第41-47页 |
4.2.1 适度OFSMI信号锯齿段线性特点 | 第41-43页 |
4.2.2 适度OFSMI小数条纹的分类和分段 | 第43-45页 |
4.2.3 算法设计 | 第45-47页 |
4.3 弱OFSMI小数条纹位移测量算法 | 第47-51页 |
4.3.1 弱OFSMI信号类正弦波特点 | 第47-49页 |
4.3.2 算法设计 | 第49-51页 |
4.4 本章小结 | 第51-52页 |
5 位移测量算法的仿真和实验验证 | 第52-64页 |
5.1 位移测量算法的仿真验证 | 第52-59页 |
5.1.1 位移重构 | 第53-57页 |
5.1.2 简谐振动振幅的测量 | 第57-59页 |
5.2 位移测量算法的实验验证 | 第59-61页 |
5.3 和其他常用位移测量算法的比对 | 第61-63页 |
5.3.1 和条纹计数法的比对 | 第61-62页 |
5.3.2 与最小二乘拟合法的比对 | 第62-63页 |
5.4 本章小结 | 第63-64页 |
6 总结和展望 | 第64-66页 |
参考文献 | 第66-70页 |
个人简历 | 第70页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
致谢 | 第71页 |