| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-13页 |
| 1.1.1 硅的简介 | 第9页 |
| 1.1.2 硅的性质 | 第9-11页 |
| 1.1.3 硅的用途 | 第11页 |
| 1.1.4 硅材料工业概况 | 第11-13页 |
| 1.2 多晶硅的主要生产工艺概况 | 第13-16页 |
| 1.2.1 SiCl_4法 | 第13页 |
| 1.2.2 冶金法 | 第13-14页 |
| 1.2.3 硅烷热分解法 | 第14-15页 |
| 1.2.4 改良西门子法 | 第15-16页 |
| 1.3 改良西门子法工艺三氯氢硅提纯过程中的杂质问题 | 第16-19页 |
| 1.3.1 三氯氢硅合成工艺流程 | 第16-18页 |
| 1.3.2 三氯氢硅中杂质含量分析 | 第18-19页 |
| 1.3.3 三氯氢硅的提纯方法简介 | 第19页 |
| 1.4 改良西门子法工艺还原尾气的回收利用过程中的杂质问题 | 第19-21页 |
| 1.4.1 还原尾气回收的作用和意义 | 第19-20页 |
| 1.4.2 还原尾气干法回收的工艺过程 | 第20页 |
| 1.4.3 循环氢气中的杂质种类及来源 | 第20-21页 |
| 1.5 本文研究的内容及意义 | 第21-22页 |
| 第二章 磷化氢的脱除概述 | 第22-30页 |
| 2.1 磷化氢的简介 | 第22-24页 |
| 2.1.1 磷化氢的结构，物化以及毒理性质 | 第22-23页 |
| 2.1.2 磷化氢的检测方法 | 第23页 |
| 2.1.3 磷化氢中毒的急救措施 | 第23-24页 |
| 2.2 磷化氢脱除技术研究进展 | 第24-30页 |
| 2.2.1 湿法脱除 | 第24页 |
| 2.2.2 干法脱除 | 第24-29页 |
| 2.2.3 激光法除磷化氢 | 第29-30页 |
| 第三章 改性 13X分子筛吸附脱除磷化氢研究 | 第30-56页 |
| 3.1 13X分子筛简介 | 第30页 |
| 3.2 氯化锌改性 13X分子筛对磷化氢的吸附 | 第30-40页 |
| 3.2.1 ZnCl_2-13X分子筛的制备 | 第30-31页 |
| 3.2.2 ZnCl_2-13X分子筛的表征 | 第31-35页 |
| 3.2.3 ZnCl_2-13X分子筛对磷化氢吸附实验的实施 | 第35-36页 |
| 3.2.4 ZnCl_2-13X分子筛吸附磷化氢实验效果探讨 | 第36-40页 |
| 3.3 氯化铜改性 13X分子筛对磷化氢的吸附 | 第40-45页 |
| 3.3.1 CuCl_2-13X分子筛的制备 | 第40页 |
| 3.3.2 CuCl_2-13X分子筛的表征 | 第40-42页 |
| 3.3.3 CuCl_2-13X分子筛吸附磷化氢实验效果探讨 | 第42-45页 |
| 3.4 ZnCl_2-13X，Cu-13X分子筛吸附磷化氢作用机理探讨 | 第45-50页 |
| 3.5 ZnCl_2-13X，Cu-13X吸附剂再生性能研究 | 第50-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 铜改性不同吸附剂载体吸附脱除磷化氢的研究 | 第56-65页 |
| 4.1 氯化铜，硝酸铜改性活性炭，13X分子筛对磷化氢的吸附 | 第56-64页 |
| 4.1.1 CuCl_2-13X/AC，Cu(NO_3)_2-13X/AC吸附剂的制备 | 第56页 |
| 4.1.2 CuCl_2-13X/AC，Cu(NO_3)_2-13X/AC分子筛吸附磷化氢实验效果探讨 | 第56-63页 |
| 4.1.3 CuCl_2-13X/AC，Cu(NO_3)_2-13X/AC分子筛吸附磷化氢作用机理探讨 | 第63-64页 |
| 4.2 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 结论 | 第65页 |
| 5.2 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
