中文摘要 | 第6-8页 |
abstract | 第8-9页 |
第1章 绪论 | 第14-28页 |
1.1 表面等离子体的研究背景 | 第14-15页 |
1.2 基于表面等离子体对倏逝波操控的研究现状 | 第15-26页 |
1.2.1 异常增强透射现象 | 第16-19页 |
1.2.2 负折射率材料与基于等离子体倏逝波传输 | 第19-23页 |
1.2.3 倏逝波操控中膜层粗糙度的影响 | 第23-26页 |
1.3 论文的主要研究内容及章节安排 | 第26-28页 |
第2章 表面等离子体的基本理论及研究方法 | 第28-43页 |
2.1 表面等离子体的基本物理特性 | 第28-33页 |
2.1.1 表面等离子体的电磁场理论 | 第28-31页 |
2.1.2 金属材料的色散模型 | 第31-33页 |
2.2 表面等离子体的耦合激发方法 | 第33-36页 |
2.3 电磁波近似解析及数值计算方法 | 第36-42页 |
2.3.1 近似解析计算 | 第36-37页 |
2.3.2 数值模拟计算 | 第37-42页 |
2.4 本章小结 | 第42-43页 |
第3章 基于表面等离子体的周期性微纳聚焦结构研究 | 第43-61页 |
3.1 经典小孔衍射理论 | 第43-44页 |
3.2 异常增强透射现象 | 第44-45页 |
3.3 周期性微纳结构的聚焦特性 | 第45-54页 |
3.3.1 多狭缝聚焦结构 | 第45-51页 |
3.3.2 光栅聚焦结构 | 第51-54页 |
3.4 金属-介质-金属多层膜聚焦结构 | 第54-59页 |
3.5 本章小结 | 第59-61页 |
第4章 多层金属-介质膜中倏逝波传输及滤波特性研究 | 第61-80页 |
4.1 超衍射光刻技术 | 第61-62页 |
4.2 超棱镜结构的倏逝波传输 | 第62-65页 |
4.3 多层金属-介质膜的倏逝波传输 | 第65-66页 |
4.4 多层金属-介质膜的倏逝波滤波 | 第66-67页 |
4.5 利用莫尔条纹验证多层膜倏逝波滤波 | 第67-76页 |
4.5.1 莫尔条纹的引入 | 第68-69页 |
4.5.2 理论分析 | 第69-75页 |
4.5.3 实验验证 | 第75-76页 |
4.6 不同入射角度下多层膜中倏逝波的滤波特性 | 第76-79页 |
4.7 本章小结 | 第79-80页 |
第5章 微纳膜层中表面粗糙度对倏逝波操控的影响研究 | 第80-104页 |
5.1 膜层表面粗糙度的引入 | 第80-89页 |
5.1.1 金属-光刻胶-反射层结构中倏逝波超衍射成像 | 第81-84页 |
5.1.2 表面粗糙度 | 第84-89页 |
5.2 金属膜层的损耗对倏逝波传输性能的影响 | 第89页 |
5.3 膜层表面粗糙度对倏逝波传输性能的影响 | 第89-94页 |
5.4 多层金属-介质膜中粗糙度对倏逝波传输性能的影响 | 第94-96页 |
5.5 紫外固化翻转工艺研究膜层间的粗糙度分布 | 第96-102页 |
5.5.1 工艺流程设计 | 第96-99页 |
5.5.2 测试结果及性能分析 | 第99-102页 |
5.6 本章小结 | 第102-104页 |
总结与展望 | 第104-106页 |
致谢 | 第106-107页 |
参考文献 | 第107-116页 |
攻读博士学位期间发表的论文及科研成果 | 第116-118页 |