| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 表面涂层的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 纳米复合膜 | 第16-18页 |
| 1.3.1 纳米复合膜研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 纳米复合膜制备方法 | 第17页 |
| 1.3.3 纳米复合膜的致硬机理 | 第17-18页 |
| 1.4 摩擦磨损机制及影响因素 | 第18-22页 |
| 1.4.1 摩擦磨损机制 | 第18-19页 |
| 1.4.2 影响摩擦的因素 | 第19-20页 |
| 1.4.3 磨损 | 第20-21页 |
| 1.4.3.1 粘着磨损 | 第20页 |
| 1.4.3.2 磨料磨损 | 第20-21页 |
| 1.4.3.3 疲劳磨损 | 第21页 |
| 1.4.3.4 腐蚀磨损 | 第21页 |
| 1.4.4 摩擦磨损过程 | 第21-22页 |
| 1.5 选题意义与研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第24-30页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 薄膜的制备方法与实验设备 | 第24-25页 |
| 2.2.1 薄膜制备的基本原理 | 第24-25页 |
| 2.2.2 样品制备设备 | 第25页 |
| 2.2.3 镀膜基片的处理方法 | 第25页 |
| 2.3 薄膜的表征方法 | 第25-30页 |
| 2.3.1 X射线衍射（XRD） | 第25-26页 |
| 2.3.2 纳米力学测试系统 | 第26-27页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜（SEM）和能量色散谱仪（EDS） | 第27页 |
| 2.3.5 透射电子显微镜（TEM） | 第27页 |
| 2.3.6 摩擦磨损试验机 | 第27-28页 |
| 2.3.7 三维形貌仪 | 第28-29页 |
| 2.3.8 X射线光电子能谱仪 | 第29-30页 |
| 第3章 TiSiN纳米复合膜的结构及性能研究 | 第30-53页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 薄膜制备及表征 | 第30-32页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第30-31页 |
| 3.2.2 薄膜表征 | 第31-32页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第32-52页 |
| 3.3.1 成分及微结构 | 第32-35页 |
| 3.3.2 薄膜截面形貌 | 第35-37页 |
| 3.3.3 点缺陷形成能 | 第37-40页 |
| 3.3.4 抗氧化性能 | 第40-41页 |
| 3.3.5 显微硬度与弹性模量 | 第41-43页 |
| 3.3.6 膜基结合力 | 第43-45页 |
| 3.3.7 摩擦磨损 | 第45-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 Ti-Al-N纳米复合膜的结构及性能研究 | 第53-76页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 薄膜制备与表征 | 第53-54页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第53-54页 |
| 4.2.2 薄膜表征 | 第54页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第54-74页 |
| 4.3.1 成分与微结构 | 第54-58页 |
| 4.3.2 薄膜截面形貌 | 第58-59页 |
| 4.3.3 点缺陷形成能 | 第59-63页 |
| 4.3.4 抗氧化性能 | 第63-64页 |
| 4.3.5 显微硬度与弹性模量 | 第64-66页 |
| 4.3.6 膜基结合力 | 第66-68页 |
| 4.3.7 摩擦磨损 | 第68-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 TiSiN-Ag纳米复合膜的结构及性能研究 | 第76-86页 |
| 5.1 引言 | 第76页 |
| 5.2 薄膜制备与表征 | 第76-77页 |
| 5.2.1 薄膜制备 | 第76-77页 |
| 5.2.2 薄膜表征 | 第77页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第77-85页 |
| 5.3.1 成分与微结构 | 第77-80页 |
| 5.3.2 截面形貌与力学性能 | 第80-82页 |
| 5.3.3 膜基结合力 | 第82-83页 |
| 5.3.4 摩擦磨损 | 第83-85页 |
| 5.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 结论 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-94页 |
| 攻读硕士学位期间学术论文情况 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |