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锆钛酸铅压电薄膜的制备和表征

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-19页
    1.1 引言第9页
    1.2 PZT压电材料的结构与性质第9-12页
    1.3 PZT压电薄膜的研究现状第12-18页
        1.3.1 PZT压电薄膜的应用第12-15页
        1.3.2 PZT压电薄膜的制备方法第15-17页
        1.3.3 PZT压电薄膜的研究进展第17-18页
    1.4 论文的研究意义和研究内容第18-19页
2 PZT薄膜的制备与表征第19-27页
    2.1 PZT薄膜的制备第19-22页
        2.1.1 PZT溶胶的配制第19-21页
        2.1.2 PZT溶胶的旋涂第21页
        2.1.3 PZT薄膜热处理步骤第21-22页
    2.2 PZT薄膜的表征方法第22-26页
        2.2.1 PZT薄膜厚度的表征方法第22-23页
        2.2.2 PZT薄膜晶向的表征方法第23页
        2.2.3 PZT薄膜微观形貌的表征方法第23-24页
        2.2.4 PZT薄膜介电性能的表征方法第24-25页
        2.2.5 PZT薄膜铁电性能的表征方法第25页
        2.2.6 PZT薄膜振动性能的表征方法第25-26页
    2.3 本章小结第26-27页
3 热处理工艺对PZT薄膜生长的影响第27-39页
    3.1 PZT薄膜结晶的物理过程第27-28页
    3.2 热解温度对PZT薄膜生长的影响第28-32页
        3.2.1 热解温度对PZT薄膜晶向生长的影响第29-31页
        3.2.2 热解温度对PZT薄膜微观结构的影响第31-32页
    3.3 退火温度对PZT薄膜生长的影响第32-37页
        3.3.1 退火温度对PZT薄膜晶向生长的影响第33-34页
        3.3.2 退火温度对PZT薄膜微观结构的影响第34-35页
        3.3.3 退火温度对PZT薄膜介电性能的影响第35-37页
        3.3.4 退火温度对PZT薄膜铁电性能的影响第37页
    3.4 本章小结第37-39页
4 掺杂PZT薄膜的制备和表征第39-57页
    4.1 掺杂PZT概述第39-40页
    4.2 PGZT薄膜的制备和表征第40-45页
        4.2.1 PGZT薄膜的晶向表征第40-42页
        4.2.2 PGZT薄膜的微观结构表征第42-43页
        4.2.3 PGZT薄膜的介电性能表征第43-45页
        4.2.4 PGZT薄膜的铁电性能表征第45页
    4.3 PLZT薄膜的制备和表征第45-54页
        4.3.1 PLZT薄膜的晶向表征第46-49页
        4.3.2 PLZT薄膜的微观结构表征第49-51页
        4.3.3 PLZT薄膜的介电性能表征第51-53页
        4.3.4 PLZT薄膜的铁电性能表征第53-54页
    4.4 掺杂改性机理分析第54-55页
    4.5 本章小结第55-57页
5 PZT压电微执行器的制作及其特性检测第57-63页
    5.1 PZT压电微执行器的制作第57-58页
    5.2 PZT压电微执行器的振动性能表征第58-60页
    5.3 PZT压电微执行器的喷墨测试第60-62页
    5.4 本章小结第62-63页
结论第63-65页
参考文献第65-70页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第70-71页
致谢第71-72页

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