| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 微纳制造技术的发展及应用 | 第8-10页 |
| 1.1.1 微细电火花加工技术 | 第8页 |
| 1.1.2 微细束流加工技术 | 第8页 |
| 1.1.3 微细切削加工技术 | 第8-9页 |
| 1.1.4 UV-LIGA技术简介及发展现状 | 第9-10页 |
| 1.1.5 复合微电铸技术的发展现状 | 第10页 |
| 1.2 3D打印技术的研究现状及制造领域的应用 | 第10-11页 |
| 1.3 镍基纳米复合材料的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.4 石墨烯金属复合材料的研究进展 | 第14页 |
| 1.5 课题的研究内容与意义 | 第14-18页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第14-15页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第15-18页 |
| 第二章 微型零件电铸模具制备技术的研究 | 第18-26页 |
| 2.1 微型模具光刻制造技术的研究 | 第18-21页 |
| 2.1.1 SU-82000系列光刻胶简介 | 第18页 |
| 2.1.2 SU-8胶模具制备工艺 | 第18-21页 |
| 2.2 微型模具3D打印制造技术的研究 | 第21-23页 |
| 2.2.1 3D打印模具的制备 | 第21-23页 |
| 2.3 模具样品的表征 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 微型零件的制备 | 第26-34页 |
| 3.1 石墨烯/镍复合微电铸工艺概述 | 第26-27页 |
| 3.1.1 纳米复合微电铸技术简介 | 第26页 |
| 3.1.2 电铸溶液配制 | 第26-27页 |
| 3.1.3 试验使用的仪器与设备 | 第27页 |
| 3.2 使用光刻模具石墨烯/镍复合材料微型零件制备工艺的研究 | 第27-30页 |
| 3.3 使用 3D打印模具的纯镍材料的电铸工艺研究 | 第30-31页 |
| 3.4 电铸结果 | 第31页 |
| 3.5 本章小结 | 第31-34页 |
| 第四章 石墨烯/镍微型零件的表征及性能研究 | 第34-52页 |
| 4.1 石墨烯/镍复合材料微型零件的表征 | 第36-46页 |
| 4.1.1 SEM表征 | 第36-39页 |
| 4.1.2 表面粗糙度检测 | 第39-41页 |
| 4.1.3 RAMAN表征 | 第41-43页 |
| 4.1.4 XRD表征 | 第43-46页 |
| 4.2 石墨烯/镍微型零件的性能测试 | 第46-49页 |
| 4.2.1 显微硬度测试及结果分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 导电性测试及结果分析 | 第48-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-52页 |
| 第五章 结论与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 结论 | 第52-53页 |
| 5.2 主要创新点及不足 | 第53页 |
| 5.3 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文目录 | 第62页 |