| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 流量计的发展与现状 | 第11-13页 |
| 1.3 流量计的分类与特点 | 第13-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 离子迁移型新型气体流量计(IMGF)理论研究与结构设计 | 第17-27页 |
| 2.1 IMGF理论分析 | 第17-18页 |
| 2.2 IMGF原理仿真 | 第18-23页 |
| 2.2.1 新型流量计仿真模型建立 | 第18-19页 |
| 2.2.2 新型流量计初始状态设定 | 第19-20页 |
| 2.2.3 新型流量计仿真结果讨论 | 第20-23页 |
| 2.3 IMGF的结构设计 | 第23-26页 |
| 2.3.1 IMGF结构设计 | 第24-25页 |
| 2.3.2 绝缘与封装 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 IMGF硬件设计与实现 | 第27-53页 |
| 3.0 系统总体结构 | 第27-28页 |
| 3.1 离子源设计 | 第28-32页 |
| 3.1.1 离子源选型 | 第28-29页 |
| 3.1.2 真空紫外灯的几何尺寸和性能参数 | 第29-30页 |
| 3.1.3 真空紫外灯的电离机理 | 第30-31页 |
| 3.1.4 VUV灯离子源的设计 | 第31-32页 |
| 3.2 离子门设计 | 第32-37页 |
| 3.2.1 离子门结构设计 | 第32-34页 |
| 3.2.2 离子门驱动电路 | 第34-37页 |
| 3.3 电流信号检测与放大模块 | 第37-44页 |
| 3.3.1 微弱电流信号放大检测方案的选择 | 第37-39页 |
| 3.3.2 前级I-V转换电路设计 | 第39-42页 |
| 3.3.3 后级放大电路设计 | 第42-44页 |
| 3.4 TDC-GP21时间差测量模块 | 第44-48页 |
| 3.4.1 TDC-GP21芯片 | 第45-46页 |
| 3.4.2 测量模式1 | 第46-47页 |
| 3.4.3 测量模式2 | 第47-48页 |
| 3.4.4 TDC-GP21 硬件连接 | 第48页 |
| 3.5 串口WIFI模块 | 第48-50页 |
| 3.6 系统硬件控制核心 | 第50-51页 |
| 3.6.1 STC12C5A60S2单片机 | 第50-51页 |
| 3.6.2 串口通信电路设计 | 第51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 IMGF系统软件设计 | 第53-73页 |
| 4.1 系统软件总体流程图 | 第53-55页 |
| 4.2 高压电源控制软件 | 第55-60页 |
| 4.3 基于状态机方法的串口通信设计 | 第60-62页 |
| 4.4 TDC-GP21时差测量软件设计 | 第62-63页 |
| 4.5 安卓远程监控软件的开发 | 第63-71页 |
| 4.5.1 远程监控平台选择 | 第63-65页 |
| 4.5.2 安卓平台的新型流量计远程监控软件的设计 | 第65-71页 |
| 4.6 本章小结 | 第71-73页 |
| 第5章 IMGF的测试与分析 | 第73-85页 |
| 5.1 IMGF流量标定测试实验 | 第73-80页 |
| 5.1.1 实验装置与材料 | 第73页 |
| 5.1.2 实验条件与方法 | 第73-75页 |
| 5.1.3 实验结果与讨论 | 第75-80页 |
| 5.1.3.1 重复性误差 | 第76-77页 |
| 5.1.3.2 数据拟合与相对误差 | 第77-78页 |
| 5.1.3.3 改进工作条件的数据拟合与相对误差 | 第78-80页 |
| 5.2 气体种类鉴别探索 | 第80-83页 |
| 5.2.1 实验条件与方法 | 第80-81页 |
| 5.2.2 结果分析与讨论 | 第81-83页 |
| 5.3 本章小结 | 第83-85页 |
| 第6章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 工作总结 | 第85页 |
| 6.2 工作展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 作者简介 | 第91页 |
| 作者在攻读硕士学位期间的研究成果 | 第91页 |