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石墨烯量子点器件的制备与输运研究

摘要第4-5页
abstract第5-6页
第一章 引言第9-17页
    1.1 量子计算与单电子晶体管第9-10页
    1.2 量子计算与量子算法第10页
    1.3 石墨烯的性质第10-12页
    1.4 单电子晶体管与量子点第12-14页
    1.5 基于石墨烯的量子点器件第14-15页
    1.6 论文的主要研究内容第15-17页
第二章 电子在量子点中基本输运性质第17-22页
    2.1 电子在单量子点中的输运性质第17-22页
        2.1.1 低偏压线性机制第19-20页
        2.1.2 高偏压非线性机制第20-22页
第三章 电子束辐照石墨烯在空气中的拉曼光谱演变第22-27页
    3.1 实验过程第23-24页
    3.2 结果与讨论第24-26页
    3.3 本章小结第26-27页
第四章 石墨烯量子点器件的制备第27-53页
    4.1 实验设备第27-31页
    4.2 CVD石墨烯量子点器件的制备第31-40页
        4.2.1 光刻对准标记、划片道、电子束光刻对准标记制备第32-33页
        4.2.2 石墨烯台面制备第33-34页
        4.2.3 欧姆接触电极制备第34页
        4.2.4 石墨烯量子点结构的制备第34-40页
    4.3 机械剥离石墨烯量子点器件制备第40-52页
        4.3.1 可控EBL工艺开发第40-47页
        4.3.2 机械剥离石墨烯量子点器件实验流程第47-52页
    4.4 本章小结第52-53页
第五章 量子点器件实验数据测量与分析第53-58页
    5.1 器件筛选第53-55页
    5.2 低温输运测试第55-57页
    5.3 本章小结第57-58页
第六章 总结与展望第58-60页
    6.1 总结第58-59页
    6.2 展望第59-60页
参考文献第60-64页
致谢第64-65页
硕士期间发表的论文与参与课题第65页

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