| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-13页 |
| 1.1.1 玻璃的含气形式与处理方法 | 第11-12页 |
| 1.1.2 玻璃的除气及真空除气的方式 | 第12-13页 |
| 1.2 等离子体及其在玻璃除气中的作用 | 第13-16页 |
| 1.2.1 等离子体与辉光等离子体 | 第13-15页 |
| 1.2.2 玻璃的等离子体轰击除气 | 第15-16页 |
| 1.3 等离子体除气的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题的研究目的与意义 | 第17-18页 |
| 第2章 等离子体的数值模拟 | 第18-34页 |
| 2.1 等离子体数值模拟概述 | 第18页 |
| 2.2 模拟软件的选择 | 第18-19页 |
| 2.3 基于COMSOL Multiphysics的等离子体数值模型及理论基础 | 第19-34页 |
| 2.3.1 漂移扩散理论 | 第19-26页 |
| 2.3.2 重粒子传输模型 | 第26-30页 |
| 2.3.3 边界条件的设定 | 第30-33页 |
| 2.3.4 等离子体化学 | 第33-34页 |
| 第3章 玻璃除气设备的放电结构设计 | 第34-54页 |
| 3.1 初始结构的设计及其依据 | 第34-39页 |
| 3.1.1 问题描述 | 第34页 |
| 3.1.2 初始结构的创建与简化 | 第34-38页 |
| 3.1.3 利用COMSOL Multiphysics模拟的过程及相关设置 | 第38-39页 |
| 3.2 初始结构下等离子体的数值模拟与除气结构的设计 | 第39-53页 |
| 3.2.1 电极带不同种电压时的等离子体模拟分析与结构设计 | 第40-45页 |
| 3.2.2 电极形状不同时的等离子体模拟分析与结构设计 | 第45-49页 |
| 3.2.3 电极数量不同时的等离子体模拟分析与结构设计 | 第49-53页 |
| 3.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 除气结构及参数的优化 | 第54-68页 |
| 4.1 影响除气效果的参数研究 | 第54-55页 |
| 4.2 模拟参数的正交试验研究 | 第55-57页 |
| 4.2.1 因素与水平的选择 | 第55-56页 |
| 4.2.2 试验方案的确定 | 第56-57页 |
| 4.3 各实验方案的模拟与结果分析 | 第57-67页 |
| 4.3.1 模拟概述 | 第57-58页 |
| 4.3.2 模拟结果及分析 | 第58-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 其他参数和结构的探索研究 | 第68-74页 |
| 5.1 电极与真空室壁距离的探索研究 | 第68-70页 |
| 5.2 双排电极结构的分析研究 | 第70-72页 |
| 5.3 本章小结 | 第72-74页 |
| 第6章 结论与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 主要结论 | 第74-75页 |
| 6.2 前景展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第82页 |
