| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·透明导电氧化物薄膜研究背景和意义 | 第11-12页 |
| ·铜铁矿型氧化物晶体结构 | 第12-14页 |
| ·铜铁矿型红外透明导电膜研究现状 | 第14-20页 |
| ·国外研究现状 | 第14-17页 |
| ·国内研究现状 | 第17-20页 |
| ·铜铁矿型红外透明导电薄膜的应用 | 第20-21页 |
| ·本文研究内容及创新点 | 第21-23页 |
| 第二章 铜铁矿型红外透明导电膜的制备与表征方法 | 第23-29页 |
| ·薄膜制备方法 | 第23-24页 |
| ·薄膜晶体结构表征方法 | 第24-26页 |
| ·薄膜形貌表征方法 | 第26-27页 |
| ·薄膜透过率表征方法 | 第27-28页 |
| ·薄膜电学性能表征方法 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 不同元素掺杂的CuAlO_2薄膜性能 | 第29-48页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuAlO_2薄膜晶体结构 | 第31-33页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuAlO_2薄膜价态分析 | 第33-35页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuAlO_2薄膜形貌结构 | 第35-39页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuAlO_2薄膜晶格常数 | 第39-40页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuAlO_2薄膜透过率 | 第40-42页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuAlO_2薄膜电导率 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 不同元素掺杂的CuCrO_2薄膜性能 | 第48-64页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuCrO_2薄膜晶体结构 | 第48-50页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuCrO_2薄膜价态分析 | 第50-52页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuCrO_2薄膜形貌结构 | 第52-56页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuCrO_2薄膜晶格常数 | 第56-57页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuCrO_2薄膜透过率 | 第57-59页 |
| ·Ca~(2+)、Zn~(2+)、Fe~(3+)掺杂CuCrO_2薄膜电导率 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 薄膜形貌改善与优化 | 第64-77页 |
| ·磁控溅射法制备薄膜 | 第64-67页 |
| ·不同溅射功率下薄膜的成分与形貌 | 第67-69页 |
| ·不同溅射时间下薄膜的成分与形貌 | 第69-71页 |
| ·不同溅射气氛下薄膜的成分与形貌 | 第71-74页 |
| ·薄膜透过率分析 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 薄膜形貌稳定性初步研究 | 第77-83页 |
| ·时间对薄膜形貌稳定性影响 | 第77-78页 |
| ·温度对薄膜形貌稳定性影响 | 第78-80页 |
| ·湿度对薄膜形貌稳定性影响 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第七章 总结与展望 | 第83-85页 |
| ·总结 | 第83-84页 |
| ·展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 作者简介及科研成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
