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亚微米金属超结构的微细加工制备与应用

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-11页
第一章 文献综述第11-39页
   ·研究背景第11页
   ·周期性亚微米金属结构在SERS与SEIRA中的应用第11-20页
     ·SERS与SEIRA概述第12-17页
     ·SERS与SEIRA在环境分析中的应用第17-18页
     ·SERS与SEIRA基底的制备方法第18-20页
   ·周期性亚微米金属结构的制备第20-30页
     ·深紫外光刻技术概述第20-22页
     ·其他微纳加工技术第22-28页
     ·光刻与电沉积技术的结合第28-30页
   ·SERS和SEIRA应用中增强基底制备方法的研究现状第30-31页
   ·本文的研究内容、目的与意义第31-32页
 参考文献第32-39页
第二章 Ag纳米树超结构的制备与SERS应用第39-63页
   ·概述第39-40页
   ·材料与方法第40-42页
     ·材料与试剂第40页
     ·仪器设备第40页
     ·周期性Ag纳米超结构的制备流程第40-41页
     ·周期性Ag纳米超结构阵列作为SERS基底的应用第41-42页
   ·结果与讨论第42-58页
     ·周期性Ag纳米超结构的设计与制备第42-45页
     ·周期性Ag纳米结构的基本表征第45-47页
     ·周期性Ag纳米树超结构阵列的拉曼增强效果与SERS测试重现性第47-52页
     ·光刻胶形貌与电沉积参数对Ag纳米结构的调控与SERS效果对比第52-55页
     ·微米级孔洞中周期性Ag纳米结构的生长机理第55-58页
   ·小结第58-59页
 参考文献第59-63页
第三章 Ag纳米树超结构用于水中NO_2~-的SERS测定第63-75页
   ·概述第63-64页
   ·材料与方法第64-66页
     ·材料与试剂第64页
     ·仪器设备第64页
     ·用于水溶液拉曼测试的SERS基底制备方法第64页
     ·水溶液中SERS测试方法第64-65页
     ·水溶液中NO_2~-的SERS测试第65-66页
   ·结果与讨论第66-73页
     ·水溶液中NO_2~-等离子的拉曼光谱响应第66-67页
     ·亚硝酸盐水溶液在Ag纳米树超结构上的SERS响应第67-68页
     ·水溶液中NO_2~-拉曼测试的一些局限和展望第68-73页
   ·小结第73-74页
 参考文献第74-75页
第四章 亚微米同心环结构的制备和表征第75-107页
   ·概述第75-77页
   ·材料与方法第77-78页
     ·材料与试剂第77页
     ·仪器设备第77页
     ·亚微米同心环结构的制备流程第77-78页
   ·结果与讨论第78-104页
     ·邻近式深紫外曝光中的菲涅耳衍射现象与光场强度的数值模拟第78-81页
     ·亚微米同心环结构设计与制备第81-85页
     ·工艺参数对同心环结构的影响第85-88页
     ·通过湿法刻蚀制备亚微米金属环隙结构第88-91页
     ·设计图形参数对同心环结构的调控第91-94页
     ·太赫兹频率选择表面的构建第94-102页
     ·基于IrO_2的集成pH微电极的制备与应用第102-104页
   ·小结第104-105页
 参考文献第105-107页
结论第107-109页
致谢第109-111页
在读期间发表的学术论文第111-112页

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