基于超快激光的超光滑光学表面制造技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·超快激光加工的特点及优势 | 第9-10页 |
| ·激光抛光技术的国外研究现状 | 第10-12页 |
| ·激光抛光国内研究现状 | 第12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 2 超快激光与光学材料相互作用的动力学模型 | 第14-19页 |
| ·超快激光与光学材料之间的作用 | 第14-16页 |
| ·材料对激光的吸收 | 第14页 |
| ·光致等离子体对于抛光过程的影响 | 第14-16页 |
| ·超快激光抛光石英晶体动力学模型的建立 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 超快激光抛光系统的组建 | 第19-30页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·超快激光抛光系统搭建 | 第19-29页 |
| ·超快激光抛光系统组成分析 | 第19页 |
| ·超快激光器 | 第19-21页 |
| ·运动单元 | 第21-22页 |
| ·光路单元 | 第22-24页 |
| ·控制单元 | 第24-25页 |
| ·成像单元 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4. 超快激光抛光工艺实验及分析 | 第30-46页 |
| ·前言 | 第30页 |
| ·抛光试验方案设计 | 第30-38页 |
| ·实验所选材料 | 第30页 |
| ·抛光工艺参数选择 | 第30-38页 |
| ·超快激光抛光正交实验 | 第38-41页 |
| ·抛光实验过程 | 第38-41页 |
| ·实验总结及分析 | 第41页 |
| ·对表面涂有牺牲层的石英晶体的抛光实验 | 第41-45页 |
| ·抛光试验原理 | 第41-42页 |
| ·牺牲层材料的选择 | 第42页 |
| ·旋涂工艺 | 第42-43页 |
| ·热回流 | 第43页 |
| ·牺牲层及石英材料的刻蚀抛光研究 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 总结与展望 | 第46-48页 |
| ·总结 | 第46-47页 |
| ·展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
