| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第9-10页 |
| ·化学气相沉积原理 | 第9页 |
| ·化学气相沉积优缺点 | 第9-10页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第10-13页 |
| ·真空蒸发镀 | 第11页 |
| ·真空溅射镀 | 第11-12页 |
| ·真空离子镀 | 第12-13页 |
| ·多弧离子镀 | 第13-19页 |
| ·多弧离子镀原理及特点 | 第13-15页 |
| ·影响多弧离子镀的工艺参数 | 第15-17页 |
| ·多弧离子镀技术发展及应用 | 第17-19页 |
| ·TiCN薄膜研究进展 | 第19-20页 |
| ·课题研究目的及内容 | 第20-21页 |
| ·研究目的 | 第20页 |
| ·研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验方案及研究方法 | 第21-32页 |
| ·实验方案 | 第21-24页 |
| ·实验材料 | 第21页 |
| ·多弧离子镀设备 | 第21-22页 |
| ·实验设计及工艺 | 第22-24页 |
| ·分析方法及其原理 | 第24-32页 |
| ·场发射扫描电子显微镜(SEM) | 第24-25页 |
| ·多功能X射线光电子能谱(XPS) | 第25页 |
| ·多晶X射线衍射仪(XRD) | 第25-26页 |
| ·表面轮廓仪(台阶仪) | 第26-27页 |
| ·划痕测试仪 | 第27-29页 |
| ·薄膜硬度测试 | 第29-30页 |
| ·耐磨性能测试 | 第30-32页 |
| 第三章 TiCN薄膜的形貌及成份结构 | 第32-41页 |
| ·薄膜形貌观察 | 第32-35页 |
| ·薄膜成份及元素价态 | 第35-36页 |
| ·薄膜化学成份 | 第36-37页 |
| ·薄膜物相分析 | 第37-39页 |
| ·TiCN薄膜厚度及表面粗糙度 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 TiCN薄膜在大气、水和海水介质中的摩擦磨损性能 | 第41-67页 |
| ·膜基界面结合力 | 第41-45页 |
| ·碳的掺杂对薄膜结合力影响 | 第41-43页 |
| ·基体负偏压对薄膜结合力影响 | 第43-45页 |
| ·薄膜的硬度和模量 | 第45-48页 |
| ·碳掺杂对薄膜硬度影响 | 第45-47页 |
| ·基体负偏压对薄膜硬度影响 | 第47-48页 |
| ·在大气,水和海水介质中的摩擦磨损性能 | 第48-66页 |
| ·偏压为20V制备的TiCN薄膜在不同介质中摩擦磨损 | 第49-56页 |
| ·碳掺杂对TiCN薄膜摩擦磨损性能影响 | 第56-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第74页 |