| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-9页 |
| ·微结构测量技术概况 | 第9-11页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第10页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第10-11页 |
| ·干涉显微测量方法 | 第11页 |
| ·扫描显微镜（Scanning Microscope: SM） | 第11页 |
| ·本论文目的、意义及主要的工作内容 | 第11-13页 |
| ·目的及意义 | 第11-12页 |
| ·主要的工作内容 | 第12-13页 |
| 第二章 激光干涉仪检测的基本原理及设计原则 | 第13-20页 |
| ·检测基本原理 | 第13页 |
| ·干涉系统的设计原则 | 第13-17页 |
| ·双光路干涉系统 | 第13-14页 |
| ·共光路微分干涉系统 | 第14-16页 |
| ·近光路微分干涉系统 | 第16-17页 |
| ·光源的设计 | 第17-18页 |
| ·光路的设计 | 第18-20页 |
| 第三章 激光干涉仪性能提高的优化设计 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·激光干涉仪提高性能的优化设计综述 | 第20-23页 |
| ·光路系统的设计 | 第20-21页 |
| ·提高激光干涉仪倍率及分辨率的设计 | 第21-22页 |
| ·提高激光干涉仪抗振动影响的设计 | 第22-23页 |
| ·激光干涉仪专用夹具的设计 | 第23页 |
| ·优化对比实验 | 第23-30页 |
| ·优化设计分析 | 第24-25页 |
| ·优化后激光端面干涉仪主要技术参数 | 第25页 |
| ·检测结果 | 第25-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第四章 激光干涉仪干涉图像处理技术 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·激光干涉仪软件的总体设计方法 | 第31-36页 |
| ·测试子程序 | 第32-33页 |
| ·数据分析子程序 | 第33-34页 |
| ·显示子程序 | 第34页 |
| ·文档管理子程序 | 第34页 |
| ·图像采集子程序 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| ·静态干涉图像分析方法的研究 | 第36-40页 |
| ·理论模型 | 第36-37页 |
| ·干涉图像预处理 | 第37-40页 |
| ·优化后的 RHT（random Hough transform）算法 | 第40页 |
| ·小结 | 第40页 |
| ·自动对焦技术 | 第40-44页 |
| ·传统对焦技术 | 第41页 |
| ·基于数字图像处理的自动对焦技术 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 第五章 光纤端面干涉仪功能拓展的优化设计 | 第44-57页 |
| ·引言 | 第44-47页 |
| ·基于传统分光仪的激光光纤端面干涉仪的优化设计 | 第47-50页 |
| ·传统分光仪的优化设计 | 第47-48页 |
| ·基于数字分光仪的 Michelson 干涉系统的实现方法 | 第48-50页 |
| ·仪器功能集成化的优化设计 | 第50-54页 |
| ·总结与展望 | 第54-57页 |
| 附录 | 第57-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 发表论文情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
