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ZrC涂层及其复合涂层的制备和性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 绪论第9-23页
   ·ZrC的物理化学性质及应用第9-11页
     ·锆(Zr)的物理化学性质及应用第9页
     ·ZrC的价电子结构及物理化学性质第9-10页
     ·ZrC材料的应用第10-11页
   ·C/C复合材料的应用背景及研究进展第11-12页
     ·作为耐磨材料的应用背景及研究进展第11-12页
     ·作为高温热结构材料的应用背景及研究进展第12页
     ·作为抗烧蚀材料的应用背景及研究进展第12页
   ·提高C/C复合材料抗冲刷耐烧蚀性能的途径第12-17页
     ·基体改性第13-15页
     ·碳化物涂层技术第15-17页
   ·ZrC增强C/C复合材料的研究进展第17-18页
     ·ZrC改性C/C复合材料的研究进展第17-18页
     ·ZrC涂层的研究进展第18页
   ·ZrC涂层的制备方法第18-21页
     ·热蒸镀法第19页
     ·溅射沉积法第19页
     ·离子束辅助沉积法第19页
     ·脉冲激光沉积法第19-20页
     ·液相脉冲放电沉积法第20页
     ·化学气相沉积法第20-21页
   ·研究方向及目的第21页
   ·研究内容及拟采取的方案第21-23页
第二章 ZrC及其复合涂层的制备与检测第23-33页
   ·制备ZrC涂层用原材料第23-24页
   ·ZrC涂层的制备第24-30页
     ·反应体系的选择和热力学分析第24-26页
     ·动力学分析第26-27页
     ·CVD设备第27-29页
     ·冷态输送ZrCl_4粉末的化学气相沉积系统特点分析第29-30页
   ·SiC涂层的制备第30页
   ·涂层结构表征与性能检测第30-33页
     ·SEM表面形貌及组织结构分析第30-31页
     ·能谱分析第31页
     ·X射线衍射分析第31页
     ·涂层沉积速率测试第31-32页
     ·显微硬度测试第32页
     ·烧蚀性能测试第32-33页
第三章 低压化学气相沉积ZrC涂层制备工艺及生长机制第33-56页
   ·温度对ZrC涂层的影响第33-39页
     ·物相分析及择优取向第34-35页
     ·表面形貌第35-36页
     ·断面结构第36-38页
     ·生长速率第38-39页
   ·氢气流量对ZrC涂层的影响第39-43页
     ·物相分析及择优取向第40-41页
     ·表面形貌第41-42页
     ·断面结构第42页
     ·生长速率第42-43页
   ·C/Zr比对ZrC涂层的影响第43-46页
     ·物相分析及择优取向第44-45页
     ·表面形貌第45页
     ·断面结构第45-46页
     ·生长速率第46页
   ·沉积压力对涂层的影响第46-49页
     ·物相分析及择优取向第47-48页
     ·表面形貌第48页
     ·断面结构第48-49页
   ·沉积位置对ZrC涂层的影响第49-51页
   ·无规则"田状"组织及其结构分析第51-54页
   ·本章小结第54-56页
第四章 低压化学气相沉积ZrC涂层的性能研究第56-67页
   ·ZrC涂层力学性能研究第56-58页
     ·C/Zr比对ZrC涂层力学性能的影响第56-57页
     ·氢气浓度对ZrC涂层力学性能的影响第57-58页
   ·ZrC涂层烧蚀性能研究第58-66页
     ·ZrC涂层的烧蚀性能第59-60页
     ·ZrC涂层烧蚀前后的物相分析第60-61页
     ·ZrC涂层烧蚀前后的表面形貌第61-62页
     ·ZrC涂层烧蚀前后的断面形貌第62-63页
     ·不同C/Zr比制备ZrC涂层的烧蚀性能第63-65页
     ·ZrC涂层C/C复合材料的烧蚀机理第65-66页
   ·本章小结第66-67页
第五章 ZrC/SiC复合涂层烧蚀行为研究第67-74页
   ·ZrC/SiC复合涂层C/C复合材料烧蚀性能第67-68页
   ·ZrC/SiC复合涂层C/C复合材料材料烧蚀前、后的物相变化第68-69页
   ·烧蚀前、后的表面形貌第69-71页
     ·烧蚀前、后的宏观表面形貌第69-70页
     ·烧蚀前、后的微观表面形貌第70-71页
   ·ZrC/SiC复合涂层C/C复合材料烧蚀前、后的组织结构第71-72页
   ·本章小结第72-74页
第六章 结论第74-76页
参考文献第76-82页
致谢第82-83页
攻读硕士学位期间主要的研究成果第83页

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