| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·光栅耦合器在硅基集成系统中的应用 | 第13-18页 |
| ·偏振无关器件 | 第18-22页 |
| ·本文主要研究工作 | 第22-24页 |
| 2 光栅耦合器的基本理论背景 | 第24-37页 |
| ·光栅耦合器的理论分析方法 | 第24-31页 |
| ·光栅耦合器的数值仿真方法 | 第31-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 光栅耦合器件的设计、制备、测试与应用 | 第37-67页 |
| ·光栅耦合器的结构设计 | 第37-49页 |
| ·光栅耦合器的制备与测试 | 第49-59页 |
| ·光栅耦合器在硅基混合集成中的应用 | 第59-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 4 光栅耦合器的偏振无关特性研究 | 第67-97页 |
| ·引言 | 第67-69页 |
| ·T 型偏振无关光栅耦合器 | 第69-81页 |
| ·采用光栅耦合的偏振无关硅基混合集成探测器 | 第81-89页 |
| ·基于光栅的偏振分束器 | 第89-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 5 总结与展望 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-110页 |
| 攻读学位期间发表论文目录 | 第110页 |