| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·半导体型光学传感器 | 第13-17页 |
| ·微环型传感器 | 第17-23页 |
| ·本论文的主要内容和创新点 | 第23-25页 |
| 第二章 微环谐振器特性分析 | 第25-47页 |
| ·光波导电磁理论概述 | 第25-27页 |
| ·光波导结构及其特性分析方法介绍 | 第27-38页 |
| ·常用波导结构 | 第27-29页 |
| ·模式分析方法 | 第29-32页 |
| ·传输特性分析方法 | 第32-36页 |
| ·数值计算方法的精度比较 | 第36-38页 |
| ·硅纳米线特性分析 | 第38-40页 |
| ·单模条件 | 第38-39页 |
| ·直波导传输损耗 | 第39-40页 |
| ·微环谐振器频谱特性分析方法研究 | 第40-47页 |
| 第三章 超小型环谐振器研究 | 第47-81页 |
| ·设计相关参数、定义分析 | 第47-50页 |
| ·模拟计算中使用的参数说明 | 第47-48页 |
| ·超小型环谐振器定义 | 第48页 |
| ·品质因子 | 第48-49页 |
| ·消光比 | 第49-50页 |
| ·超小型环谐振器损耗分析 | 第50-52页 |
| ·超小型环谐振器弯曲损耗分析优化 | 第50-51页 |
| ·超小型环谐振器耦合区咐加损耗分析 | 第51-52页 |
| ·耦合区参数对超小型环谐振器频谱特性影响的分析 | 第52-57页 |
| ·不同结构的耦合波导分析 | 第57-68页 |
| ·耦合增强的原理 | 第58-61页 |
| ·耦合波导为非同心圆弧 | 第61-62页 |
| ·耦合波导为直波导 | 第62-66页 |
| ·耦合波导为同心圆弧 | 第66-68页 |
| ·超小型环谐振器实验制作 | 第68-81页 |
| ·器件制作工艺研究 | 第68-77页 |
| ·超小型环谐振器频谱测试结果 | 第77-81页 |
| 第四章 超高灵敏度微环传感器研究 | 第81-99页 |
| ·波导结构对灵敏度的影响研究 | 第81-88页 |
| ·偏振对波导灵敏度影响的分析 | 第82-84页 |
| ·波导结构对波导灵敏度影响的分析 | 第84-88页 |
| ·游标型双环传感器结构设计和特性分析 | 第88-99页 |
| ·游标型双环结构设计 | 第88-89页 |
| ·游标型双环工作特点研究 | 第89-96页 |
| ·游标型双环温度响应分析 | 第96-99页 |
| 第五章 超高灵敏度微环传感器制作工艺研究及性能测试 | 第99-117页 |
| ·制作工艺研究 | 第99-106页 |
| ·传感窗口制作(悬挂式波导制作) | 第99-104页 |
| ·器件封装 | 第104-106页 |
| ·传输特性表征 | 第106-112页 |
| ·耦合方式研究 | 第106-107页 |
| ·传输特性测试 | 第107-112页 |
| ·温度响应测试 | 第112页 |
| ·化学传感测试 | 第112-117页 |
| 第六章 总结与展望 | 第117-121页 |
| 参考文献 | 第121-129页 |
| 在读博士期间发表的论文 | 第129页 |