BaxSr1-xTiO3薄膜可调体声波谐振器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·无线通信系统的发展对射频器件的要求 | 第10-11页 |
| ·薄膜体声波谐振器的原理和特点 | 第11-12页 |
| ·薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构 | 第12-13页 |
| ·薄膜体声波谐振器的材料 | 第13-14页 |
| ·薄膜体声波谐振器的研究进展 | 第14-15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 BST薄膜体声波谐振器的设计 | 第17-26页 |
| ·BST薄膜体声波谐振器的物理等效模型 | 第17-21页 |
| ·一般声学层的传输线模型 | 第17-18页 |
| ·压电层的机电物理等效电路 | 第18-21页 |
| ·固态封装型BST薄膜体声波谐振器的仿真 | 第21-25页 |
| ·压电层等效电路的建模 | 第21-22页 |
| ·普通声学层的等效电路建立 | 第22页 |
| ·BST FBAR器件结构的确定 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 BST薄膜体声波谐振器的制备工艺 | 第26-34页 |
| ·Mo/SiO_2 Bragg反射层制备 | 第26-28页 |
| ·阻挡层TiO_2的制备 | 第28-29页 |
| ·电极及BST铁电薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·BST薄膜体声波谐振器的典型结果 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 BST薄膜体声波谐振器的性能表征及其分析 | 第34-56页 |
| ·器件结构对BST薄膜体声波谐振器的影响 | 第35-40页 |
| ·单端口器件研究 | 第35-38页 |
| ·双端口器件研究 | 第38-40页 |
| ·不同面积大小对器件性能的影响 | 第40-47页 |
| ·上电极对器件性能的影响 | 第47-55页 |
| ·不同上电极材料对器件性能的影响 | 第47-53页 |
| ·不同上电极厚度对BST FBAR性能的影响 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 薄膜体声波滤波器的设计 | 第56-62页 |
| ·梯形薄膜体声波谐振器的工作原理 | 第56-58页 |
| ·梯形FBAR滤波器的设计 | 第58-61页 |
| ·参数提取 | 第58-59页 |
| ·T型滤波器设计 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 主要结论与创新点 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第69页 |
